特許

J-GLOBAL ID：201503007635358480

制限板ユニットおよび蒸着ユニット並びに蒸着装置

発明者： 小林 勇毅 ,  菊池 克浩 ,  川戸 伸一 ,  井上 智 ,  越智 貴志 ,  松本 栄一 ,  市原 正浩
出願人/特許権者： シャープ株式会社 ,  キヤノントッキ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人HARAKENZO WORLD PATENT & TRADEMARK
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-122785
公開番号（公開出願番号）：特開2014-240507
出願日： 2013年06月11日
公開日（公表日）： 2014年12月25日
要約：

【課題】異常成膜の発生を防止することができる蒸着ユニットを提供する。【解決手段】蒸着ユニット(1)は、蒸着マスク(50)と蒸着源(10)と制限板ユニット(20)とを備えている。制限板ユニット(20)は、X軸方向に離間して設けられた複数の第1の制限板(32)と、平面視で第1の制限板(32)上に、X軸方向に離間して設けられた複数の第2の制限板(42)とを備え、第2の制限板(42)は、X軸方向に、第1の制限板(32)1枚につき少なくとも2枚設けられている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

蒸着マスクと、 上記蒸着マスクに向かって蒸着粒子を射出する蒸着源と、 上記蒸着マスクと蒸着源との間に設けられ、蒸着源から射出された蒸着粒子の通過角度を制限する制限板ユニットとを備え、 上記制限板ユニットは、 第1の方向に互いに離間して設けられた、複数の第1の制限板と、平面視で上記第1の制限板上に、上記第1の方向に互いに離間し、かつ、上記第1の制限板に沿って設けられた、複数の第2の制限板と、を少なくとも備えた複数段の制限板を備え、 上記第2の制限板は、上記第1の方向に、上記第1の制限板1枚につき少なくとも2枚設けられていることを特徴とする蒸着ユニット。

IPC (3件)：

C23C 14/24 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50

FI (3件)：

C23C14/24 G ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A

Fターム (18件)：

3K107AA01 ,  3K107BB01 ,  3K107CC33 ,  3K107CC42 ,  3K107CC45 ,  3K107FF15 ,  3K107GG32 ,  3K107GG33 ,  3K107GG34 ,  4K029AA09 ,  4K029AA24 ,  4K029BA62 ,  4K029BB03 ,  4K029CA01 ,  4K029DA13 ,  4K029DB06 ,  4K029DB14 ,  4K029HA01