特許

J-GLOBAL ID：201503007729814715

半導体装置およびその作製方法

発明者： 宮入 秀和
出願人/特許権者： 株式会社半導体エネルギー研究所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-250486
公開番号（公開出願番号）：特開2015-144251
出願日： 2014年12月11日
公開日（公表日）： 2015年08月06日
要約：

【課題】酸化物半導体膜を用いるトランジスタにおいて、配線などにCuを含む導電膜を用いる新規な半導体装置を提供する。【解決手段】第1の絶縁膜と、第1の絶縁膜上の酸化物半導体と、酸化物半導体とゲート絶縁膜を介して重なるゲート電極と、ゲート電極側面に接する第2の絶縁膜と、ゲート電極上面に接する第3の絶縁膜と、を有し、ゲート電極は、Cu-X合金膜(Xは、Mn、Ni、Cr、Fe、Co、Mo、Ta、Ti、Zr、Mg、Ca、あるいはこれら2種以上の混合物)を含む。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

基板上に設けられた酸化物半導体と、 前記酸化物半導体の上に設けられた第1絶縁膜と、 前記第1絶縁膜を介して前記酸化物半導体と重なる電極と、 前記第1絶縁膜の上に設けられた第2絶縁膜と、 を有し、 前記電極は第1導電膜および第2導電膜を含み、 前記第2導電膜はCuを含み、 前記第2絶縁膜は前記電極の側面と接し、 前記電極の側面において、前記第1導電膜は前記第2絶縁膜と前記第2導電膜に挟まれていることを特徴とする半導体装置。

IPC (15件)：

H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  H01L 21/28 ,  H01L 29/417 ,  H01L 29/423 ,  H01L 29/49 ,  H01L 21/824 ,  H01L 27/115 ,  H01L 27/108 ,  H01L 29/788 ,  H01L 29/792 ,  H01L 27/105 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/14 ,  H05B 33/22

FI (18件)：

H01L29/78 617M ,  H01L29/78 618B ,  H01L29/78 617L ,  H01L29/78 627A ,  H01L29/78 619A ,  H01L29/78 618E ,  H01L21/28 301B ,  H01L29/50 M ,  H01L29/58 G ,  H01L27/10 434 ,  H01L27/10 321 ,  H01L27/10 671C ,  H01L27/10 671Z ,  H01L29/78 371 ,  H01L27/10 441 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/14 Z ,  H05B33/22 Z

Fターム (217件)：

3K107AA01 ,  3K107AA05 ,  3K107BB01 ,  3K107CC11 ,  3K107CC23 ,  3K107CC33 ,  3K107DD90 ,  3K107DD95 ,  3K107EE04 ,  4M104AA03 ,  4M104AA08 ,  4M104AA09 ,  4M104BB02 ,  4M104BB04 ,  4M104BB05 ,  4M104BB08 ,  4M104BB13 ,  4M104BB14 ,  4M104BB16 ,  4M104BB17 ,  4M104BB18 ,  4M104BB30 ,  4M104BB32 ,  4M104BB33 ,  4M104BB39 ,  4M104CC01 ,  4M104CC05 ,  4M104DD15 ,  4M104DD16 ,  4M104DD17 ,  4M104DD18 ,  4M104DD26 ,  4M104DD33 ,  4M104DD35 ,  4M104DD37 ,  4M104DD43 ,  4M104DD49 ,  4M104DD62 ,  4M104DD65 ,  4M104DD71 ,  4M104DD75 ,  4M104DD91 ,  4M104EE03 ,  4M104EE09 ,  4M104EE16 ,  4M104FF01 ,  4M104FF02 ,  4M104FF03 ,  4M104FF04 ,  4M104FF06 ,  4M104FF17 ,  4M104FF18 ,  4M104FF22 ,  4M104FF27 ,  4M104FF31 ,  4M104GG04 ,  4M104GG09 ,  4M104GG10 ,  4M104GG14 ,  4M104GG16 ,  4M104HH04 ,  4M104HH09 ,  4M104HH10 ,  4M104HH11 ,  4M104HH12 ,  4M104HH14 ,  5F083AD02 ,  5F083AD03 ,  5F083AD69 ,  5F083EP17 ,  5F083EP18 ,  5F083EP22 ,  5F083EP75 ,  5F083ER02 ,  5F083GA01 ,  5F083GA02 ,  5F083GA05 ,  5F083GA06 ,  5F083GA09 ,  5F083GA10 ,  5F083GA21 ,  5F083GA25 ,  5F083GA27 ,  5F083HA02 ,  5F083HA06 ,  5F083HA08 ,  5F083JA02 ,  5F083JA05 ,  5F083JA06 ,  5F083JA19 ,  5F083JA36 ,  5F083JA37 ,  5F083JA38 ,  5F083JA39 ,  5F083JA40 ,  5F083JA56 ,  5F083NA01 ,  5F083PR01 ,  5F083PR03 ,  5F083PR06 ,  5F083PR07 ,  5F083PR21 ,  5F083PR22 ,  5F083PR33 ,  5F083PR36 ,  5F083PR39 ,  5F083PR40 ,  5F083ZA20 ,  5F101BA17 ,  5F101BA42 ,  5F101BA45 ,  5F101BB02 ,  5F101BB17 ,  5F101BC00 ,  5F101BD13 ,  5F101BD30 ,  5F101BD33 ,  5F101BD35 ,  5F101BD39 ,  5F101BD40 ,  5F101BE02 ,  5F101BE05 ,  5F101BF01 ,  5F101BF02 ,  5F101BF03 ,  5F101BF09 ,  5F101BH02 ,  5F101BH09 ,  5F101BH14 ,  5F101BH16 ,  5F101BH26 ,  5F110AA26 ,  5F110BB01 ,  5F110BB02 ,  5F110BB04 ,  5F110BB05 ,  5F110CC01 ,  5F110CC02 ,  5F110CC10 ,  5F110DD12 ,  5F110DD13 ,  5F110DD14 ,  5F110DD15 ,  5F110DD17 ,  5F110DD21 ,  5F110EE01 ,  5F110EE02 ,  5F110EE03 ,  5F110EE06 ,  5F110EE14 ,  5F110EE22 ,  5F110EE30 ,  5F110EE38 ,  5F110EE42 ,  5F110EE44 ,  5F110EE45 ,  5F110EE48 ,  5F110FF01 ,  5F110FF02 ,  5F110FF03 ,  5F110FF04 ,  5F110FF09 ,  5F110FF27 ,  5F110FF28 ,  5F110FF29 ,  5F110FF36 ,  5F110GG01 ,  5F110GG02 ,  5F110GG03 ,  5F110GG04 ,  5F110GG05 ,  5F110GG06 ,  5F110GG07 ,  5F110GG12 ,  5F110GG13 ,  5F110GG14 ,  5F110GG15 ,  5F110GG16 ,  5F110GG17 ,  5F110GG19 ,  5F110GG24 ,  5F110GG33 ,  5F110GG34 ,  5F110GG35 ,  5F110GG42 ,  5F110GG43 ,  5F110GG44 ,  5F110GG58 ,  5F110HJ01 ,  5F110HK01 ,  5F110HK02 ,  5F110HK03 ,  5F110HK04 ,  5F110HK06 ,  5F110HK21 ,  5F110HK32 ,  5F110HL02 ,  5F110HL03 ,  5F110HL06 ,  5F110HL11 ,  5F110HL22 ,  5F110HM12 ,  5F110NN02 ,  5F110NN03 ,  5F110NN22 ,  5F110NN23 ,  5F110NN24 ,  5F110NN33 ,  5F110NN34 ,  5F110NN35 ,  5F110NN40 ,  5F110NN72 ,  5F110NN73 ,  5F110NN74 ,  5F110NN78 ,  5F110QQ11 ,  5F110QQ19