特許

J-GLOBAL ID：201503007967915014

搬送ロールユニット、フィルム検査装置、露光装置、微細加工機

発明者： 内田 厚 ,  星野 正人 ,  新井 達也 ,  大河原 秀之
出願人/特許権者： デクセリアルズ株式会社
代理人 (1件)： 野口 信博
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-243933
公開番号（公開出願番号）：特開2015-102454
出願日： 2013年11月26日
公開日（公表日）： 2015年06月04日
要約：

【課題】搬送ロールの外周面の振れを小さくし、フィルムの搬送位置を安定させる。【解決手段】フィルム10を搬送する搬送ロール2と、搬送ロール2の外周面を支持する基準ロール3と、搬送ロール2の外周面に当接され搬送ロール2を基準ロール3に対して付勢する与圧ロール4とを備え、搬送ロール2は、基準ロール3及び与圧ロール4によって少なくとも3点以上で、ラジアル方向を支持されている。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

フィルムを搬送する搬送ロールと、 上記搬送ロールの外周面を支持する基準ロールと、上記搬送ロールの外周面に当接され上記搬送ロールを上記基準ロールに対して付勢する与圧ロールとを備え、 上記搬送ロールは、上記基準ロール及び上記与圧ロールによって少なくとも3点以上で、ラジアル方向を支持されている搬送ロールユニット。

IPC (2件)：

G01N 21/84 ,  G01N 21/892

FI (2件)：

G01N21/84 C ,  G01N21/892 A

Fターム (7件)：

2G051AA41 ,  2G051AB02 ,  2G051BA20 ,  2G051CA01 ,  2G051CB02 ,  2G051DA06 ,  2G051DA09