紫外線レーザーズームビーム拡大システム及びレーザー加工機器

発明者： , , , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (7件)：辻居幸一 , 熊倉禎男 , 弟子丸健 , 井野砂里 , 松下満 , 倉澤伊知郎 , 丹澤一成
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-521953
公開番号（公開出願番号）：特表2015-524940
出願日： 2013年06月24日
公開日（公表日）： 2015年08月27日
要約：

レーザー加工の分野に適用される紫外線レーザーズームビーム拡大システムは、第1のレンズ、第2のレンズ、及び第3のレンズ(L1、L2、L3)を含む。第1のレンズ及び第3のレンズ(L1、L3)は平凸正レンズであり、第2のレンズ(L2)は凸凹負レンズである。第1のレンズ、第2のレンズ及び第3のレンズ(L1、L2、L3)はそれぞれ、第1の面及び第2の面(S1、S2)、第3の面及び第4の面(S3、S4)並びに第5の面及び第6の面(S5、S6)を含む。第1の面から第6の面(S1、S2、S3、S4、S5、S6)の曲率半径は、∞、-30、10、2.2、∞、-81である。第1のレンズから第3のレンズ(L1、L2、L3)の中心厚みは、2、1、4である。第1のレンズから第3のレンズ(L1、L2、L3)の外径は、10、3、34である。第1のレンズから第3のレンズ(L1、L2、L3)の屈折率対アッベ数の比率は、1.57:41、1.48:68、及び1.57:41である。第2の面と第3の面(S2、S3)の間の間隔(d2)は6〜37である。第4の面と第5の面(S4、S5)の間の間隔(d4)は114〜125であり、単位はmmであり、許容差は5%である。本システムは、入射光に対し2〜16倍のビーム拡大を行なうことができ、これにより、異なる出射直径及び発散角を有するレーザーデバイスに適応可能であり、レーザー加工の効率及び精度を改善することができる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

紫外線レーザーズームビーム拡大システムであって、入射光の透過方向に沿って順に同軸で配置された第1のレンズ、第2のレンズ、及び第3のレンズを備え、前記第1のレンズ及び前記第3のレンズが平凸正レンズであり、前記第2のレンズが凹凸負レンズであり、前記第1のレンズが、第1の面及び第2の面を含み、前記第2のレンズが第3の面及び第4の面を含み、前記第3のレンズが第5の面及び第6の面を含み、前記第1の面から第6の面が前記入射光の前記透過方向に沿って順次的に配置され、前記第1の面から第6の面の曲率半径が、それぞれ、∞、-30mm、10mm、2.2mm、∞、-81mmであり、前記第1のレンズから第3のレンズの中心厚みが、それぞれ、2mm、1mm、4mmであり、前記第1のレンズから第3のレンズの外径が、それぞれ、10mm、3mm、34mmであり、前記第1のレンズから第3のレンズの屈折率対アッベ数の比率が、それぞれ、1.57:41、1.48:68、1.57:41であり、前記第2の面と第3の面の間の光軸上の距離が、6〜37mmの範囲に及び、前記第4の面と前記第5の面の間の前記光軸上の距離が114〜125mmの範囲に及び、前記曲率半径、前記中心厚み、前記外径、前記屈折率対アッベ数の比率、及び前記距離の許容差が5%である、紫外線レーザーズームビーム拡大システム。

IPC (2件)：

G02B 13/00 , B23K 26/064

FI (2件)：

G02B13/00 , B23K26/064 A

Fターム (18件)：

2H087KA26 , 2H087LA21 , 2H087NA04 , 2H087PA03 , 2H087PA17 , 2H087PB03 , 2H087QA01 , 2H087QA07 , 2H087QA13 , 2H087QA22 , 2H087QA25 , 2H087QA33 , 2H087QA42 , 2H087QA45 , 4E168CB18 , 4E168DA04 , 4E168EA12 , 4E168KA08

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