特許
J-GLOBAL ID：201503008890889934
欠陥検査装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人R&C
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-006062
公開番号（公開出願番号）：特開2015-135253
出願日： 2014年01月16日
公開日（公表日）： 2015年07月27日
要約：
【課題】ワークの外面と孔部の内周面との検査を可能にする欠陥検査装置を構成する。【解決手段】先端に対物レンズ21を備えたプローブ22と、対物レンズ21より外方に配置される領域切換ユニット26とを備えて撮影部Bを構成する。ワークWの表面に照明光を照射する第1照明ユニットAsと、ワークWの孔部の内面に照明光を照射する第2照明ユニットAhとを備える。被検査領域がワークWの表面である場合には、第1照明ユニットAsで照明を行い、領域切換ユニット26を透過状態に設定して撮影を行う。検査領域がワークWの孔部の内面である場合には、プローブ22を孔部に挿入し、第2照明ユニットAhで照明を行い、領域切換ユニット26を反射状態に設定することで孔部内面を撮影する。【選択図】図2
請求項（抜粋）：
ワークの被検査領域に照明光を照射する照明部と、前記被検査領域を撮影する撮影部と、前記撮影部による撮影位置をセットする作動部と、この作動部・前記撮影部・前記照明部の各々を制御する撮影制御部と、前記撮影部で撮影された画像データから前記被検査領域の欠陥の有無を判定する欠陥判定部とを備えると共に、
前記撮影部が、先端に対物レンズを備えた筒状のプローブと、前記対物レンズの光軸に沿う方向からの光線を前記対物レンズに導く透過状態、又は、前記光軸に直交する方向からの光線を反射して前記対物レンズに導く反射状態に切り換え自在な領域切換ユニットとを備えて構成され、
前記照明部が、前記プローブの外部から前記被検査領域であるワーク表面に照明光を照射する第1照明ユニットと、前記プローブの先端部から前記被検査領域である前記ワークの孔部の内面に照明光を照射する第2照明ユニットとを備えて構成され、
前記撮影制御部が、
前記被検査領域が前記ワークの表面である場合に、前記プローブを前記作動部により前記被検査領域と対向する位置にセットして前記第1照明ユニットによる照明を行い、且つ、前記領域切換ユニットを前記透過状態に設定する表面撮影モードと、
前記被検査領域が前記孔部の内面である場合に、前記プローブの先端を前記作動部により前記孔部に挿入して前記第2照明ユニットによる照明を行い、且つ、前記領域切換ユニットを前記反射状態に設定する孔部内面撮影モードとに切り換え自在に構成されている欠陥検査装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (14件)：
2G051AA88
, 2G051AB02
, 2G051AC15
, 2G051BA01
, 2G051BA08
, 2G051BC01
, 2G051BC03
, 2G051CA04
, 2G051CC09
, 2G051CC11
, 2G051DA07
, 2G051DA08
, 2G051EA14
, 2G051FA01
