特許

J-GLOBAL ID：201503009493498267

ガス混合物を提供するための方法および装置

発明者： ニール アレクサンダー ダウニー
出願人/特許権者： エア プロダクツ アンド ケミカルズ インコーポレイテッド
代理人 (7件)： 青木 篤 ,  石田 敬 ,  古賀 哲次 ,  木村 健治 ,  関根 宣夫 ,  胡田 尚則 ,  出野 知
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-513197
公開番号（公開出願番号）：特表2015-526653
出願日： 2013年05月23日
公開日（公表日）： 2015年09月10日
要約：

第一のガスを供給するための第一のガス源;前記第一のガスとは異なる第二のガスを供給するための第二のガス源;第一のガスの流量を調節するための第一のバルブ;第二のガスの流量を調節するための第二のバルブ;第一および第二のバルブの下流に配置され、使用時に、第一および第二のガスを混合して混合ガスを提供するように構成されるミキサー;混合ガスと接触する高周波平面型圧電水晶発振器および大気圧を特定するように作動可能であるセンサーを含む、混合ガスの平均分子量を測定するように構成されるメーター;ならびに前記混合ガス中の第一および第二のガスの相対的比率を制御する目的で、前記混合ガスの測定された平均分子量に応答して、前記第一および第二のバルブのうちの少なくとも一方を制御するように作動可能であるコントローラーを含むガスミキサー設備が提供される。

請求項（抜粋）：

ある相対的比率でのガスの混合物を提供する方法であって、前記混合物は、少なくとも第一のガスおよび前記第一のガスとは異なる第二のガスを含み、前記方法は、 a)第一のガス源から第一の流速で前記第一のガスを供給すること、 b)第二のガス源から第二の流速で前記第二のガスを供給すること、 c)前記第一および第二のガスを混合して混合ガスを形成すること、ならびに d)前記混合ガスを、ほぼ大気圧にて出口部に供給すること、 を含み、ここで、前記方法はさらに、 e)前記混合ガスと接触する高周波平面型圧電水晶発振器の共振周波数を測定すること、 f)大気圧を測定すること、 g)前記測定された共振周波数から前記混合ガスの密度を特定すること、 h)前記密度、大気圧測定、および特定されたまたは予め特定された前記ガスの温度から、前記混合ガスの平均分子量を特定すること、ならびに i)前記特定された平均分子量に応答して、前記第一および第二の流速のうちの一方を自動的に制御することで、前記混合ガス中の前記第一および第二のガスの前記相対的比率を制御すること を含む、ある相対的比率でのガスの混合物を提供する方法。

IPC (3件)：

F17C 7/00 ,  F17C 13/02 ,  G01N 9/00

FI (3件)：

F17C7/00 A ,  F17C13/02 301A ,  G01N9/00 C

Fターム (20件)：

3E172AA02 ,  3E172AA05 ,  3E172AB01 ,  3E172AB15 ,  3E172BA01 ,  3E172BB03 ,  3E172BB12 ,  3E172BB17 ,  3E172BC04 ,  3E172BC06 ,  3E172BC08 ,  3E172DA90 ,  3E172EB02 ,  3E172EB14 ,  3E172EB21 ,  3E172JA08 ,  3E172JA09 ,  3E172KA03 ,  3E172KA22 ,  3E172KA23

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 混合ガスによる薄膜作製方法とその装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2005-058402   出願人：独立行政法人産業技術総合研究所
• 密度計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-160257   出願人：トキコ株式会社