特許
J-GLOBAL ID：201503009569654700
磁気ヘッド検査装置及び磁気ヘッド検査方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
ポレール特許業務法人
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-155380
公開番号（公開出願番号）：特開2015-026410
出願日： 2013年07月26日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：
【課題】磁気ヘッドの検査において、磁気ヘッドから発生される磁力の大きさに関わらず、磁気ヘッドの実行トラック幅を精度良く測定することを可能にする。【解決手段】磁気ヘッド検査方法において、磁気ヘッド素子をテーブルに載置して磁気ヘッド素子に励磁信号を印加した状態でテーブルにより平面内で一方向に移動させ、先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーを励振部で駆動して所定の周波数で振動させながらテーブルにより一方向に移動する磁気ヘッド素子上を走査し、磁気ヘッド素子の移動の途中においてカンチレバーの振動の振幅が一定となるように励振部を制御し、励振部でカンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で磁気ヘッドの実効トラック幅を求めるようにした。【選択図】 図1A
請求項（抜粋）：
磁気ヘッド素子を載置して平面内で移動可能なテーブル手段と、
先端部付近に磁性探針が形成されたカンチレバーと、
該カンチレバーを所定の周波数で振動させる励振部と、
前記テーブル手段に載置された磁気ヘッド素子に励磁信号を印加する信号印加手段と、
前記信号印加手段から前記磁気ヘッド素子に励磁信号を印加し、前記励振部で前記カンチレバーを所定の周波数で振動させた状態で、前記テーブル手段で前記磁気ヘッド素子を一方向に移動させ、該移動の途中において前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように前記励振部を制御する振幅フィードバック制御部と、
該フィードバック制御部により前記カンチレバーの振動の振幅が一定となるように制御された状態で前記磁気ヘッドの実効トラック幅を求める演算手段と、
を備えたことを特徴とする磁気ヘッド検査装置。
IPC (1件)：
FI (2件)：
G11B5/455 C
, G11B5/455 Z
