特許

J-GLOBAL ID：201503009887157503

インターフェース部品及びその作製方法

発明者： リチャード シムズ ,  リチャード ウィリアム モーズリー
出願人/特許権者： マイクロサイク システムズ パブリック リミテッド カンパニー
代理人 (1件)： 特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-117362
公開番号（公開出願番号）：特開2013-210384
特許番号：特許第5785219号
出願日： 2013年06月03日
公開日（公表日）： 2013年10月10日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 大気圧イオン源と真空システムとを結合するために、作動可能にポンプに連結され、かつ、前記イオン源によって発生されたイオンビームを前記真空システムに伝達するように微細設計されたインターフェース部品であって、 前記インターフェース部品は、第1の半導体層及び第2の半導体層からなる少なくとも2つの半導体層から構成され、前記第1の半導体層は第1のオリフィスを構成し、前記第2の半導体層は第2のオリフィスを構成し、前記2つの半導体層の各々が互いに関連して積層構造に配置されるとき、前記第1のオリフィス及び前記第2のオリフィスは、前記インターフェース部品中に及び前記インターフェース部品を介して受ける前記イオンビームを、前もって前記第1の半導体層及び前記第2の半導体層を通して前記真空システムに与えることができるチャネルを構成し、 前記インターフェース部品は、前記ポンプによる前記インターフェース部品中のポンプ輸送を通じて、前記大気圧イオン源と前記真空システムのそれぞれに中間の圧力に維持された作動可能なチャンバを構成していることを特徴とするインターフェース部品。

IPC (2件)：

G01N 27/62 ( 200 6.01) ,  H01J 49/04 ( 200 6.01)

FI (2件)：

G01N 27/62 G ,  H01J 49/04