特許

J-GLOBAL ID：201503010333511094

アライメント装置およびアライメント方法

発明者： 瀧本 泰弘 ,  月本 浩明 ,  藤田 大輔
出願人/特許権者： タツモ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人 楓国際特許事務所
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012062479
公開番号（公開出願番号）：WO2012-165141
出願日： 2012年05月16日
公開日（公表日）： 2012年12月06日
要約：

アライメント対象物の変形を抑制し、高精度のアライメントを低負荷で行う。本発明のアライメント装置(100)は、スピンチャック(110)および支持部材(130)を備える。スピンチャック(110)は、アライメント対象物(10)を吸着して回転する。支持部材(130)は、スピンチャック(110)が吸着している位置とは異なる位置において、回転するアライメント対象物(10)を支持する。さらに、支持部材(130)は、アライメント対象物(10)と同期して回転するように構成されている。

請求項（抜粋）：

アライメント対象物を吸着して回転する吸着回転手段と、 前記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において、回転する前記アライメント対象物を支持する支持手段と、を備え、 前記支持手段が前記アライメント対象物と同期して回転するように構成されたことを特徴とするアライメント装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 P

Fターム (21件)：

5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131CA07 ,  5F131CA62 ,  5F131DA02 ,  5F131DA13 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DB02 ,  5F131DB22 ,  5F131EA22 ,  5F131EA24 ,  5F131EB01 ,  5F131FA32 ,  5F131FA34 ,  5F131KA14 ,  5F131KA44 ,  5F131KA54 ,  5F131KB03 ,  5F131KB54 ,  5F131KB55