特許

J-GLOBAL ID：201503010649969522

基板除電システム

発明者： 加納 周吾
出願人/特許権者： シャープ株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人前田特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-121993
公開番号（公開出願番号）：特開2013-247069
特許番号：特許第5759418号
出願日： 2012年05月29日
公開日（公表日）： 2013年12月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 載置された基板を搬送する搬送機構と、 対向している上記基板の領域における帯電量を計測する帯電センサと、 上記帯電センサよりも上記基板の搬送方向下流側に配置され、対向している上記基板の領域にイオンを放出する除電器と、 上記帯電センサにより計測された帯電量に基づいて、上記搬送機構による上記基板の搬送速度を制御する搬送速度制御部とを備え、 上記搬送速度制御部は、上記帯電センサにより計測された上記基板の帯電量が所定の閾値以上であるときに、当該基板が上記除電器に対向している間の搬送速度を上記基板の帯電量が上記閾値未満であるときの搬送速度よりも低く設定し、 上記除電器は、上記基板の搬送方向に複数並んで設けられると共に、それぞれイオン放出状態又はイオン放出停止状態に切り替え可能に構成され、 上記帯電センサにより計測された上記基板の帯電量が上記所定の閾値以上であるときに、イオン放出状態の上記除電器の数を、上記基板の帯電量が上記閾値未満であるときにおけるイオン放出状態の上記除電器の数よりも多くする除電器切替制御部をさらに有している ことを特徴とする基板除電システム。

IPC (3件)：

H05F 3/02 ( 200 6.01) ,  B65H 5/00 ( 200 6.01) ,  B65H 5/06 ( 200 6.01)

FI (3件)：

H05F 3/02 F ,  B65H 5/00 A ,  B65H 5/06 M

引用特許：

出願人引用 (1件)

• 電子部品実装装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-269700   出願人：JUKI株式会社

審査官引用 (1件)

• 電子部品実装装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2004-269700   出願人：JUKI株式会社