MOCVD反応炉の面状ヒータ用加熱エレメント

発明者： , ,
出願人/特許権者： ,
代理人 (2件)：山口巖 , 山本浩
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-525776
公開番号（公開出願番号）：特表2015-527742
出願日： 2013年08月05日
公開日（公表日）： 2015年09月17日
要約：

本発明は、多孔焼結被膜(30)で少なくとも部分的に直接覆われた加熱体(20)を有する加熱エレメント(10)に関する。加熱体(20)及び多孔焼結被膜(30)はそれぞれ、少なくとも90重量%のタングステンを含む。【選択図】図5b

請求項（抜粋）：

多孔焼結被膜(30)で少なくとも部分的に直接覆われた加熱体(20)を有し、前記加熱体(20)及び前記多孔焼結被膜(30)がそれぞれ少なくとも90重量%のタングステンを含んでいる、加熱エレメント。

IPC (3件)：

H01L 21/205 , H05B 3/12 , H05B 3/10

FI (3件)：

H01L21/205 , H05B3/12 A , H05B3/10 C

Fターム (19件)：

3K092PP20 , 3K092QA03 , 3K092QA05 , 3K092QB02 , 3K092QB43 , 3K092QB44 , 3K092QB45 , 3K092RE03 , 3K092VV34 , 3K092VV40 , 5F045AA04 , 5F045AB09 , 5F045CA10 , 5F045DP02 , 5F045DP15 , 5F045DP27 , 5F045EK07 , 5F045EK08 , 5F045EM10

引用特許：

審査官引用 (4件)

材料の放射率を増大させるシステム及び方法
公報種別：公表公報出願番号：特願2007-527181 出願人：ビーコ・インストゥルメンツ・インコーポレイテッド
特公昭39-003864
長寿命を有する高圧放電ランプ用電極
公報種別：公表公報出願番号：特願2000-564224 出願人：パテント-トロイハント-ゲゼルシヤフトフユアエレクトリツシエグリユーランペンミツトベシユレンクテルハフツング

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