特許
J-GLOBAL ID:201503010879623756

X線回折装置一体型雰囲気制御グローブボックス装置、およびその製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 高山 道夫
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-142594
公開番号(公開出願番号):特開2015-014569
出願日: 2013年07月08日
公開日(公表日): 2015年01月22日
要約:
【課題】グローブ付オープンボックス、仲介チャンバーおよび2軸回折計を横方向に直列状に配列して接続して一体化し、装置全体の形状のコンパクト化を図ったX線回折装置一体型雰囲気制御グローブボックス装置およびその製造方法を提供する。【解決手段】前面にグローブを有し、かつ内部目視用の窓を有するグローブ付オープンボックス3と、このグローブ付オープンボックスと気密的に接続された中空状の仲介チャンバー9と、この仲介チャンバーに組み付けられた2軸回折計11とを備え、前記2軸回折計は、回転中心を揃え、前記仲介チャンバーに組み付けられた第1の回転ステージおよび外側に位置する第2の回転ステージからなり、前記第1の回転ステージ側に設けられた回転可能な回転すべり面に設けられた試料台を前記仲介チャンバー内に配置した構成とした。【選択図】図1
請求項(抜粋):
前面にグローブ(3b)を有し、かつ内部目視用の窓(4b)を有するグローブ付オープンボックス(3)と、このグローブ付オープンボックス(3)と気密的に接続された中空状の仲介チャンバー(9)と、この仲介チャンバー(9)に組み付けられた2軸回折計(11)とを備え、 前記2軸回折計(11)は、回転中心を揃え、前記仲介チャンバー(9)に組み付けられた第1の回転ステージ(18a)および外側に位置する第2の回転ステージ(18b)からなり、 前記第1の回転ステージ(18a)側に設けられた回転可能な回転すべり面(29)に設けられた試料台(30)を前記仲介チャンバー(9)内に配置したことを特徴とするX線回折装置一体型雰囲気制御グローブボックス装置。
IPC (1件):
G01N 23/207
FI (1件):
G01N23/207
Fターム (12件):
2G001AA01 ,  2G001BA18 ,  2G001CA01 ,  2G001DA08 ,  2G001DA09 ,  2G001GA03 ,  2G001GA13 ,  2G001JA14 ,  2G001LA11 ,  2G001PA01 ,  2G001PA07 ,  2G001PA13
引用特許:
出願人引用 (4件)
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