特許

J-GLOBAL ID：201503011057366171

露光装置

発明者： 鈴木 智也 ,  堀 正和 ,  林田 洋祐 ,  小宮山 弘樹 ,  鬼頭 義昭
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (8件)： 千葉 剛宏 ,  宮寺 利幸 ,  千馬 隆之 ,  大内 秀治 ,  仲宗根 康晴 ,  坂井 志郎 ,  山野 明 ,  関口 亨祐
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-019198
公開番号（公開出願番号）：特開2015-145990
出願日： 2014年02月04日
公開日（公表日）： 2015年08月13日
要約：

【課題】露光ユニットから射出される照明光を簡易に計測することができる露光装置を提供する。【解決手段】被照射体上にパターンを露光する露光装置は、照明光を射出する光源装置と、照明光が導入されるパターン生成部と投射光学系とを含み、被照射体上にパターン生成部で生成されるパターンを投射する複数の露光ユニットと、パターンが被照射体上の異なる領域の各々に投射されるように、複数の露光ユニットの各々を所定の配置関係で着脱可能に支持する第1支持部と、調整用露光ユニットを、パターンの投射特性の計測または調整のために支持する第2支持部と、光源装置からの照明光を、第2支持部に支持された調整用露光ユニットに導く光導入光学系とを備える。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

被照射体上にパターンを露光する露光装置であって、 露光用の照明光を射出する光源装置と、 前記光源装置からの前記照明光が導入されるパターン生成部と投射光学系とを含み、前記被照射体上に前記パターン生成部で生成される前記パターンを投射する複数の露光ユニットと、 前記パターンが前記被照射体上の異なる領域の各々に投射されるように、前記複数の露光ユニットの各々を所定の配置関係で着脱可能に支持する第1支持部と、 前記複数の露光ユニットのうちで前記第1支持部から外された特定の前記露光ユニット或いは前記露光ユニットと同じ構成の代替の露光ユニットを、前記パターンの投射特性の計測または調整のために支持する第2支持部と、 前記光源装置からの前記照明光を、前記第2支持部に支持された前記特定の露光ユニットまたは前記代替の露光ユニットに導く光導入光学系と、 を備える、露光装置。

IPC (3件)：

G03F 7/24 ,  G03F 7/20 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G03F7/24 Z ,  G03F7/20 505 ,  H01L21/30 529

Fターム (8件)：

2H097AA03 ,  2H097AA16 ,  2H097BA01 ,  2H097BA10 ,  2H097CA17 ,  5F146BA07 ,  5F146DA01 ,  5F146DB01