特許

J-GLOBAL ID：201503011096065022

表示装置に製造方法

発明者： 松本 行生 ,  佐藤 敏浩
出願人/特許権者： 株式会社ジャパンディスプレイ
代理人 (1件)： 特許業務法人はるか国際特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-267482
公開番号（公開出願番号）：特開2015-124394
出願日： 2013年12月25日
公開日（公表日）： 2015年07月06日
要約：

【課題】マスクを用いたパターニング成膜における、マスク浮きを抑制する表示装置の製造方法を提供する。【解決手段】表示装置の製造方法は、磁性材料からなり、複数の開口部と、複数の開口部を仕切るリブ(304,306)とを有するマスク(300)を、成膜対象である基板を挟んで、マグネット(350)により固定する工程と、固定されたマスクを介して基板に成膜する工程と、を備え、マグネットは、基板を介した平面視において、リブの幅の中心を通る中心線を挟んで、互いに極性が異なる向きで離間して配置される複数のマグネットを有している。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

磁性材料からなり、複数の開口部と、前記複数の開口部を仕切るリブとを有するマスクを、成膜対象である基板を挟んで、マグネットにより固定する工程と、 前記固定されたマスクを介して前記基板に成膜する工程と、を備え、 前記マグネットは、前記基板を介した平面視において、前記リブの幅の中心を通る中心線を挟んで、互いに極性が異なる向きで離間して配置される複数のマグネットを有している、ことを特徴とする表示装置の製造方法。

IPC (4件)：

C23C 14/04 ,  H05B 33/10 ,  H01L 51/50 ,  H05B 33/28

FI (4件)：

C23C14/04 A ,  H05B33/10 ,  H05B33/14 A ,  H05B33/28

Fターム (20件)：

3K107CC29 ,  3K107CC45 ,  3K107DD22 ,  3K107DD27 ,  3K107FF15 ,  3K107GG04 ,  3K107GG05 ,  3K107GG33 ,  3K107GG52 ,  4K029AA23 ,  4K029BA45 ,  4K029BA49 ,  4K029BA50 ,  4K029BC09 ,  4K029BD01 ,  4K029CA05 ,  4K029DC05 ,  4K029HA02 ,  4K029HA03 ,  4K029HA04