特許
J-GLOBAL ID:201503011528702657

ダイシングシート用基材フィルムおよびダイシングシート

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 早川 裕司 ,  大窪 克之 ,  村雨 圭介
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-193953
公開番号(公開出願番号):特開2015-213096
出願日: 2012年09月04日
公開日(公表日): 2015年11月26日
要約:
【課題】ダイシング工程においてハンドリング性に優れ、かつ被切断物のダイシング時に発生するダイシング屑が発生する可能性が低減されており、さらにエキスパンド工程において基材の破断が生じる可能性も低減されているダイシングシート用の基材、およびこの基材を備えたダイシングシートを提供する。【解決手段】樹脂層(A)と、樹脂層(A)の一方の面上に積層された樹脂層(B)とを備えたダイシングシート用基材フィルム2であって、樹脂層(A)は、23°Cにおける引張弾性率が1000MPa以下であって、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種有する樹脂であるノルボルネン系樹脂(a1)およびプロピレン系重合体に基づく樹脂であるポリプロピレン系樹脂(a2)を含み、樹脂層(B)は、23°Cにおける引張弾性率が50MPa以上500MPa以下であって、破断伸度が100%以上である。【選択図】図1
請求項(抜粋):
樹脂層(A)と、前記樹脂層(A)の一方の面上に積層された樹脂層(B)とを備えたダイシングシート用基材フィルムであって、 前記樹脂層(A)は、23°Cにおける引張弾性率が1000MPa以下であって、ノルボルネン系化合物に由来する構成単位を少なくとも一種有する樹脂であるノルボルネン系樹脂(a1)およびプロピレン系重合体に基づく樹脂であるポリプロピレン系樹脂(a2)を含み、 前記樹脂層(B)は、23°Cにおける引張弾性率が50MPa以上500MPa以下であって、破断伸度が100%以上であることを特徴とするダイシングシート用基材フィルム。
IPC (2件):
H01L 21/301 ,  C09J 7/02
FI (2件):
H01L21/78 M ,  C09J7/02 Z
Fターム (11件):
4J004AA10 ,  4J004AA14 ,  4J004AB01 ,  4J004CA04 ,  4J004CB03 ,  4J004CC03 ,  4J004CE01 ,  4J004DA04 ,  4J004DB02 ,  4J004EA06 ,  4J004FA08

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