コールドトラップおよびコールドトラップの制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (4件)：森下賢樹 , 村田雄祐 , 三木友由 , 富所輝観夫
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-018835
公開番号（公開出願番号）：特開2013-155716
特許番号：特許第5748682号
出願日： 2012年01月31日
公開日（公表日）： 2013年08月15日
請求項（抜粋）：

【請求項1】個別に制御可能な複数の冷却ユニットを備え、排気対象容積を真空ポンプに接続する排気流路に配置されるコールドトラップであって、各冷却ユニットは、前記排気流路に露出して配置されたパネルユニットと、前記パネルユニットに熱的に接続され前記パネルユニットを冷却する冷凍機と、を含み、各冷却ユニットのパネルユニットは他の冷却ユニットのパネルユニットから離れて配置され、前記コールドトラップは、隣り合う2つのパネルユニットのいずれか一方と熱的に接続され、それら2つのパネルユニットの隙間を少なくとも部分的に覆うカバー部をさらに備えることを特徴とするコールドトラップ。

IPC (2件)：