特許
J-GLOBAL ID：201503011889263100

機械式停止要素を有する非接触磁気駆動アセンブリ

発明者：
クローネベルガー クリス

クローネベルガー クリス について

, 
パテル バラツクマール

パテル バラツクマール について


出願人/特許権者：
フェローテック(ユーエスエー)コーポレイション

フェローテック(ユーエスエー)コーポレイション について


代理人 (1件)： 名古屋国際特許業務法人
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-535904
公開番号（公開出願番号）：特表2014-535003
出願日： 2012年10月12日
公開日（公表日）： 2014年12月25日
要約：
HULA構成を有するリフトオフプロセスを採用した真空蒸着システムのための機械式停止要素を有する非接触磁気駆動アセンブリであって、環状配向で中心リングと軌道リング磁石とに結合された複数の磁石であって、軌道リングが回転するときに、軌道リングの各磁石が中心リングの磁石と重なり合う複数の磁石と、中心リング、中心リングの周りの軌道リングの一方、または両方を同時に駆動する中心駆動部品であって、中心駆動部品は、重なり合う磁石の磁気駆動トルクと、中心駆動部品の回転速度との差が、重なり合う磁石を分離させて、複数の中心歯と複数の軌道リングとの間の相互作用接触により機械式駆動回転が可能になるまで、中心リングの周りでの軌道リングの非接触の磁気駆動回転を可能にする回転速度を提供する、中心駆動部品とを特徴とする。
請求項（抜粋）：
リフトオフプロセスを採用した真空蒸着システムのための非接触の磁気駆動アセンブリであって、 前記駆動アセンブリは、 中心リングを備え、 該中心リングは、 複数の等間隔に配置された中心リング歯であって、前記中心リングの中心から所定の半径距離離れて前記中心リングの周りに配設されて、中心歯間隔を規定している、複数の等間隔に配置された中心リング歯と、 複数の等間隔に配置された中心リング磁石であって、該複数の磁石の各々は、前記中心リングの中心から所定の半径距離離れて、前記中心リング歯の放射軸の1つに沿って、または前記中心歯間隔の放射軸に沿って前記中心リングに結合された、複数の等間隔に配置された中心リング磁石と を有し、 前記駆動アセンブリは、 軌道リング中心軸の周りを回転可能な軌道リングを備え、 該軌道リングは、 複数の等間隔に配置された軌道リング歯であって、前記軌道リングの中心から所定の半径距離離れて前記軌道リングの周りに配設されて、軌道歯間隔を規定し、前記中心歯間隔と一致するように位置決めされた、複数の等間隔に配置された軌道リング歯と、 複数の等間隔に配置された軌道リング磁石であって、該複数の軌道リング磁石の各々は、前記軌道リングの中心から所定の半径距離離れて、(1)前記中心リングの前記対応する複数の磁石の各々が前記中心歯間隔の前記放射軸に沿って配設されるときに前記軌道リング歯の放射軸に沿って、または(2)前記中心リングの前記対応する複数の磁石の各々が前記中心リング歯の前記放射軸に沿って配設されるときに前記軌道リング間隔の放射軸に沿って、前記軌道リング上に配置され、前記軌道リングが前記軌道リング中心軸の周りを回転するときに、前記複数の軌道リング磁石の各々は、前記複数の中心リング磁石のうちの対応する磁石に順に重なり合い、前記中心歯間隔と前記軌道歯間隔とは、前記対応する中心リング歯および軌道リング歯の各々の幅より大きく、前記軌道リング歯および前記中心リング歯の挿入により、隣接する軌道リング歯と中心リング歯との間の軌道/中心リング歯間隔が規定される、複数の等間隔に配置された軌道リング磁石と を有し、 前記駆動アセンブリは、 前記中心リングと前記中心リングの周りの前記軌道リングの一方または両方を同時に駆動するように構成された中心駆動部品を備え、 該中心駆動部品は、前記重なり合う磁石により提供される磁気駆動トルクと前記中心駆動部品の回転速度との間の差が、前記重なり合う磁石を分離させて、前記中心歯と前記軌道リング歯との間の相互作用接触により機械式駆動回転が可能になるまで、前記中心リングの周りでの前記軌道リングの非接触の磁気駆動回転を可能にする回転速度を提供する、駆動アセンブリ。
IPC (2件)：
C23C 14/50 ,  H01L 21/683
FI (2件)：
C23C14/50 H ,  H01L21/68 N
Fターム (16件)：
4K029AA06 ,  4K029AA24 ,  4K029CA01 ,  4K029DA03 ,  4K029DA10 ,  4K029JA03 ,  5F131AA02 ,  5F131BA03 ,  5F131CA12 ,  5F131EA14 ,  5F131EA24 ,  5F131EB32 ,  5F131EB55 ,  5F131EB57 ,  5F131EB64 ,  5F131EB67
引用特許：
出願人引用 (5件)
  • トルク伝達装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-189080   出願人：株式会社キトー
  • 基板回転装置及び基板回転方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-328943   出願人：マテリアルズリサーチコーポレーション, リード-ライトコーポレーション
  • 特開昭57-143474
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審査官引用 (5件)
  • トルク伝達装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願2010-189080   出願人：株式会社キトー
  • 基板回転装置及び基板回転方法
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-328943   出願人：マテリアルズリサーチコーポレーション, リード-ライトコーポレーション
  • 特開昭57-143474
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