特許

J-GLOBAL ID：201503011935909690

圧力式質量流量制御器の自己検証方法および装置

発明者： ディング,ジュンファ
出願人/特許権者： エム ケー エス インストルメンツ インコーポレーテッド
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-533082
公開番号（公開出願番号）：特表2015-530668
出願日： 2013年08月29日
公開日（公表日）： 2015年10月15日
要約：

処理に合わせて流量を制御する際、質量流量制御システムはその精度を自己検証可能である。前記システムは、前記システムを通る流体の前記流量を、制御信号に応じて制御する制御弁と、前記システムを通る流体の測定流量および目標流量設定ポイントに応じて、前記制御信号を生成する制御部と、前記流量の測定および検証用に前記制御する流体圧力を測定する圧力センサと、前記システム精度の検証に用いるための既知容量の流体を前記制御処理の工程間のいつでも供給する流体源とを備える。

請求項（抜粋）：

処理に合わせて流体の流量を制御する際に、その精度をリアルタイムで自己検証可能である質量流量制御システムであって、 前記システムを通る流体の前記流量を、制御信号に応じて制御する制御弁と、 前記システムを通る流体の測定流量および設定ポイントに応じて、前記制御信号を生成する制御部と、 流量制御処理の工程間のいつでも、前記システムの前記精度の検証に用いるための既知容量の流体を供給する流体源と、 を備えることを特徴とする、当該質量流量制御システム。

IPC (4件)：

G05D 7/06 ,  G01F 1/00 ,  G01F 1/34 ,  G01F 1/36

FI (4件)：

G05D7/06 Z ,  G01F1/00 X ,  G01F1/34 A ,  G01F1/36

Fターム (14件)：

2F030CA04 ,  2F030CC11 ,  2F030CD08 ,  2F030CE04 ,  2F030CF05 ,  2F030CF08 ,  5H307AA01 ,  5H307BB01 ,  5H307CC12 ,  5H307DD01 ,  5H307EE02 ,  5H307FF12 ,  5H307GG03 ,  5H307KK02