特許

J-GLOBAL ID：201503012065178240

チップ検出装置及びチップ検出方法

発明者： 高松 剛志
出願人/特許権者： JUKI株式会社
代理人 (2件)： 荒船 博司 ,  荒船 良男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-162877
公開番号（公開出願番号）：特開2015-032762
出願日： 2013年08月06日
公開日（公表日）： 2015年02月16日
要約：

【課題】チップ検出の作業負担を軽減する。【解決手段】ウエハWの撮像画像データに基づいて第一チップC1を特定するチップ検出装置100であって、パターンマッチングによりウエハエッジを検出するウエハエッジ検出部110と、パターンマッチングにより第一のダイシング溝D1を検出するダイシング溝検出部と、パターンマッチングにより第一のダイシング溝に接するチップコーナーCsを検出するチップコーナー検出部と、X軸正方向の最も端に位置するチップコーナーを含むチップを第一チップと特定する第一チップ特定部とを備えている。【選択図】図6

請求項（抜粋）：

ダイシングによりチップ形成平面上で互いに直交するX軸方向とY軸方向とに沿って格子状に切断されたウエハの撮像画像データに基づいて、 ウエハマップデータ上のX軸方向に沿った複数のチップ列の中でY軸正方向の最も端に位置する第一のチップ列の中でX軸正方向の最も端に位置する第一チップを特定するチップ検出装置であって、 前記ウエハの前記Y軸正方向の端部の画像エリア内で、ウエハとその背面に貼られたウエハシートとの境界部分に第1テンプレート画像を用いたパターンマッチングによりウエハエッジを検出するウエハエッジ検出部と、 X軸方向に沿ったダイシング溝の部分画像に第2テンプレート画像を用いたパターンマッチングにより、前記ウエハエッジ検出部により検出された前記ウエハエッジに最も近接するX軸方向に沿った第一のダイシング溝を検出するダイシング溝検出部と、 X軸方向に沿ったダイシング溝とY軸方向に沿ったダイシング溝の交差部分を含んだチップコーナーに第3テンプレート画像を用いたパターンマッチングにより、前記ダイシング溝検出部により検出された前記第一のダイシング溝に接するチップコーナーを検出するチップコーナー検出部と、 前記チップコーナー検出部により検出されたチップコーナーの中で、前記X軸正方向の最も端に位置するチップコーナーを含むチップを前記第一チップと特定する第一チップ特定部とを備えることを特徴とするチップ検出装置。

IPC (1件)：

H01L 21/301

FI (1件)：

H01L21/78 Y

Fターム (4件)：

5F063AA33 ,  5F063DE11 ,  5F063DE17 ,  5F063DE33