特許

J-GLOBAL ID：201503012132408035

画像検査方法および画像検査装置

発明者： 執行 和浩
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人深見特許事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-076190
公開番号（公開出願番号）：特開2015-197396
出願日： 2014年04月02日
公開日（公表日）： 2015年11月09日
要約：

【課題】検査対象物の異常部が発生した工程を容易に特定することが可能な画像検査方法および画像検査装置を提供する。【解決手段】この画像検査装置100は、複数の工程の各々の終了後に撮像された検査対象物の画像に基づいて、各工程の終了後の検査対象物に存在する異常部の異常モードを判別し、異常部の異常モードと検査対象物における異常部の座標とを含むマッピングデータを生成し、複数の工程における検査対象物の寸法変化に基づいて複数のマッピングデータのサイズを規格化し、規格化された複数のマッピングデータのうちの2つ以上のマッピングデータに含まれる同一異常部をグループ化し、異常部が発生した工程を特定する。【選択図】図10

請求項（抜粋）：

検査対象物を製造する複数の工程を含む製造ラインにおいて前記検査対象物を検査する画像検査方法であって、 前記複数の工程の各々の終了後に撮像された前記検査対象物の画像に基づいて、各工程の終了後の前記検査対象物に存在する異常部が複数の異常モードのうちのいずれの異常モードに属するかを判別し、異常部の異常モードと前記検査対象物における異常部の座標とを含むマッピングデータを生成する第1のステップと、 前記複数の工程における前記検査対象物の寸法変化に基づいて、複数の前記マッピングデータに含まれる同一異常部の座標が一致するように複数の前記マッピングデータのサイズを規格化する第2のステップと、 規格化された複数の前記マッピングデータのうちの2つ以上のマッピングデータに含まれる同一異常部をグループ化し、異常部が発生した工程を特定する第3のステップとを備える、画像検査方法。

IPC (1件)：

G01N 21/892

FI (1件)：

G01N21/892 Z

Fターム (11件)：

2G051AA37 ,  2G051AB01 ,  2G051AB02 ,  2G051BA05 ,  2G051CA03 ,  2G051CB01 ,  2G051CB10 ,  2G051DA06 ,  2G051EA16 ,  2G051EC01 ,  2G051ED11