特許

J-GLOBAL ID：201503012454884495

シート貼付装置および貼付方法

発明者： 杉下 芳昭
出願人/特許権者： リンテック株式会社
代理人 (1件)： 特許業務法人樹之下知的財産事務所
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-052165
公開番号（公開出願番号）：特開2015-177012
出願日： 2014年03月14日
公開日（公表日）： 2015年10月05日
要約：

【課題】両面接着シートと第2被着体との間に塵埃が混入するリスクを低減できるシート貼付装置および貼付方法を提供する。【解決手段】シート貼付装置10は、仮着部APおよび折返し部FPを有する第1剥離シートRL1が両面接着シートASの第1接着面SA1に仮着され、帯状の第2剥離シートRL2が第2接着面SA2に仮着された原反RSを繰り出す繰出手段20と、第2剥離シートRL2を剥離する剥離手段20Aと、両面接着シートASを第1剥離シートRL1側から第1被着体WK1に貼付する貼付手段30と、第1接着面SA1に仮着された仮着面AP1の反対側の面方向に折返し部FPが折り返された状態の第1剥離シートRL1を挟んで、両面接着シートASに第2被着体WK2を押圧する押圧手段40と、第2被着体WK2と両面接着シートASとの間から第1剥離シートRL1を引き抜く引抜手段50とを備える。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

一方の面が第1接着面とされ、他方の面が第2接着面とされた両面接着シートを介して第1被着体と第2被着体とを貼付するシート貼付装置であって、 仮着部および当該仮着部に連接した折返し部を有する第1剥離シートが前記両面接着シートの第1接着面に仮着されるとともに、帯状の第2剥離シートが前記第2接着面に仮着された原反を繰り出す繰出手段と、 前記繰出手段で繰り出された原反から前記第2剥離シートを剥離する剥離手段と、 前記剥離手段で前記第2剥離シートが剥離された両面接着シートを前記第1剥離シート側から前記第1被着体に押圧して貼付する貼付手段とを備え、 前記第2被着体は、前記第1接着面に仮着された仮着面の反対側の面方向に前記折返し部が折り返された状態の前記第1剥離シートを間に挟んで、前記両面接着シートに押圧され、 前記第2被着体と前記両面接着シートとの間から前記折返し部を介して前記第1剥離シートを引き抜く引抜手段を備えることを特徴とするシート貼付装置。

IPC (1件)：

H01L 21/683

FI (1件)：

H01L21/68 N

Fターム (45件)：

5F131AA02 ,  5F131AA03 ,  5F131AA22 ,  5F131AA23 ,  5F131BA53 ,  5F131CA09 ,  5F131CA12 ,  5F131DA02 ,  5F131DA32 ,  5F131DA33 ,  5F131DA42 ,  5F131DA54 ,  5F131DA66 ,  5F131DA67 ,  5F131DB52 ,  5F131DC23 ,  5F131EA07 ,  5F131EA22 ,  5F131EA23 ,  5F131EB01 ,  5F131EB11 ,  5F131EB63 ,  5F131EB81 ,  5F131EB89 ,  5F131EC32 ,  5F131EC33 ,  5F131EC34 ,  5F131EC35 ,  5F131EC62 ,  5F131EC63 ,  5F131EC64 ,  5F131EC69 ,  5F131EC72 ,  5F131EC76 ,  5F131EC77 ,  5F131GA03 ,  5F131GA22 ,  5F131HA07 ,  5F131HA44 ,  5F131KA12 ,  5F131KA14 ,  5F131KA40 ,  5F131KA44 ,  5F131KB12 ,  5F131KB32