特許
J-GLOBAL ID:201503012802570734

塗布装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (2件): 田下 明人 ,  立石 克彦
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-238598
公開番号(公開出願番号):特開2014-087733
特許番号:特許第5828316号
出願日: 2012年10月30日
公開日(公表日): 2014年05月15日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被塗布物(50,60)に対して塗布が禁止される塗布禁止領域(50b,60b)を除く塗布領域(50a,60a)に塗布液(W)を塗布する塗布装置(10)であって、 前記被塗布物に対して前記塗布禁止領域を除き前記塗布領域の一側および他側をそれぞれ環状に囲うように当該被塗布物を介して対向する際に一部が互いに接触する一側シール部材(23)および他側シール部材(33)と、 前記一側シール部材を前記被塗布物に押圧する一側押圧具(20)と、 前記他側シール部材を前記被塗布物に押圧する他側押圧具(30)と、 前記一側押圧具による前記一側シール部材の押圧および前記他側押圧具による前記他側シール部材の押圧に応じて弾性変形する閉塞部材(41,43)と、 前記一側シール部材および前記他側シール部材により囲まれた空間(11a)内に前記塗布液を供給する供給手段(13)と、 を備え、 前記閉塞部材は、前記弾性変形時に、前記一側シール部材と前記他側シール部材との接触部(40)と前記被塗布物との間に形成される隙間(S)を閉塞するように配置されることを特徴とする塗布装置。
IPC (2件):
B05C 3/109 ( 200 6.01) ,  B05C 11/10 ( 200 6.01)
FI (2件):
B05C 3/109 ,  B05C 11/10

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