特許
J-GLOBAL ID:201503013042569729

キャリア、キャリアの製造方法、および磁気ディスク用ガラス基板の製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): グローバル・アイピー東京特許業務法人
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-270265
公開番号(公開出願番号):特開2015-123553
出願日: 2013年12月26日
公開日(公表日): 2015年07月06日
要約:
【課題】ガラス基板の研削/研磨処理において、キャリアの主表面の摩耗を抑え、ガラス基板の研削/研磨レートの低下を抑えることにある。また、本発明は、ガラス基板の研削/研磨レートの低下を抑えることのできる磁気ディスク用ガラス基板の製造方法を提供することを目的とする。【解決手段】本発明の一態様に係るキャリアは、円板状のガラス基板を上定盤および下定盤で挟んで前記ガラス基板の主表面を研削または研磨する際に前記ガラス基板を保持するための保持穴を有するキャリアであって、前記キャリアは、繊維に樹脂を含浸してなる樹脂含浸材料からなり、前記キャリアの主表面の、研削中に用いられる研削液または研磨中に用いられる研磨液に対する接触角は30°以下であることを特徴とする。【選択図】図2
請求項(抜粋):
円板状のガラス基板を上定盤および下定盤で挟んで前記ガラス基板の主表面を研削または研磨する際に前記ガラス基板を保持するための保持穴を有するキャリアであって、 前記キャリアは、繊維に樹脂を含浸してなる樹脂含浸材料からなり、 前記キャリアの主表面の、研削中に用いられる研削液または研磨中に用いられる研磨液に対する接触角は30°以下であることを特徴とするキャリア。
IPC (7件):
B24B 37/28 ,  B24B 37/12 ,  B24B 37/20 ,  B24B 7/24 ,  B24B 1/00 ,  C03C 19/00 ,  G11B 5/84
FI (7件):
B24B37/04 U ,  B24B37/04 X ,  B24B37/04 Y ,  B24B7/24 E ,  B24B1/00 D ,  C03C19/00 Z ,  G11B5/84 A
Fターム (37件):
3C043BA03 ,  3C043BA11 ,  3C043BA16 ,  3C043BB06 ,  3C043CC04 ,  3C043CC07 ,  3C043CC13 ,  3C043DD05 ,  3C049AA07 ,  3C049AA09 ,  3C049AB01 ,  3C049AB04 ,  3C049AB08 ,  3C049AB09 ,  3C049CA06 ,  3C049CB03 ,  3C058AA07 ,  3C058AA09 ,  3C058AB01 ,  3C058AB04 ,  3C058AB08 ,  3C058AB09 ,  3C058CA06 ,  3C058CB03 ,  3C058DA02 ,  3C058DA06 ,  3C058DA09 ,  3C058DA18 ,  4G059AA09 ,  4G059AC03 ,  5D112AA02 ,  5D112AA24 ,  5D112BA03 ,  5D112BA09 ,  5D112GA04 ,  5D112GA09 ,  5D112GA11

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