特許

J-GLOBAL ID：201503013198885337

温度測定要素を有するMIM構造体を備えた放射検出器

発明者： ウジワォル・パランチョケ ,  サリム・ブタミ ,  ジャン-ルイ・オブリエール-ビュッフェ ,  ジャン-ジャック・ヨン
出願人/特許権者： コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
代理人 (3件)： 村山 靖彦 ,  実広 信哉 ,  阿部 達彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2015-023943
公開番号（公開出願番号）：特開2015-152597
出願日： 2015年02月10日
公開日（公表日）： 2015年08月24日
要約：

【課題】検出されることを意図する波長に選択的であり、低周波数ノイズ及び熱時定数に関して最適化され、非常に多くの数の材料で作られることができる、新規なタイプの放射検出器を提供する。【解決手段】放射検出器は、少なくとも、基板;支持要素によって前記基板上に吊るされた膜;下部金属要素、上部金属要素及び前記下部金属要素及び前記上部金属要素の間に配置された誘電体要素によって形成された少なくとも1つのMIM構造体を含む吸収要素;少なくとも1つの温度測定材料を含む温度測定要素;を少なくとも含む放射検出器であって、前記膜が、少なくとも前記MIM構造体の上部金属要素及び前記温度測定材料を含み、前記温度測定材料が、前記MIM構造体の誘電体要素の一部である。【選択図】図3A

請求項（抜粋）：

-基板(102); -支持要素(108)によって前記基板(102)上に吊るされた膜(104); -下部金属要素(112)、上部金属要素(114)及び前記下部金属要素(112)及び前記上部金属要素(114)の間に配置された誘電体要素(100、116、118、120、122)によって形成された少なくとも1つのMIM構造体を含む吸収要素; -少なくとも1つの温度測定材料(116)を含む温度測定要素; を少なくとも含む放射検出器(100)であって、 前記膜(104)が、少なくとも前記MIM構造体の上部金属要素(114)及び前記温度測定材料(116)を含み、 前記温度測定材料(116)が、前記MIM構造体の誘電体要素(110、116、118、120、122)の一部である、放射検出器(100)。

IPC (2件)：

G01J 5/34 ,  G01J 1/02

FI (2件)：

G01J5/34 A ,  G01J1/02 Y

Fターム (9件)：

2G065AA04 ,  2G065AB02 ,  2G065BA12 ,  2G065BA13 ,  2G065BA34 ,  2G065BB27 ,  2G066AB06 ,  2G066BA04 ,  2G066BA09