特許

J-GLOBAL ID：201503013433555390

半導体製造装置用溶接ベローズ

発明者： 高橋 秀和 ,  井上 昌彦 ,  落合 博幸
出願人/特許権者： イーグル工業株式会社 ,  イーグルブルグマンジャパン株式会社
代理人 (7件)： 重信 和男 ,  櫻井 義宏 ,  清水 英雄 ,  高木 祐一 ,  溝渕 良一 ,  秋庭 英樹 ,  堅田 多恵子
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-511966
特許番号：特許第5794456号
出願日： 2012年03月09日
請求項（抜粋）：

【請求項1】 径方向に対して曲面をなす複数の環状のベローズプレートが外径側及び内径側において交互に接続されてなる蛇腹構造の半導体製造装置用溶接ベローズにおいて、環状のベローズプレートが、処理側のベローズプレートと非処理側のベローズプレートとを備え、2つのベローズプレートの間に気層を介在させ、処理側のベローズプレートの板厚を薄く、非処理側のベローズプレートの板厚を厚く構成したことを特徴とする半導体製造装置用溶接ベローズ。

IPC (2件)：

F16J 3/04 ( 200 6.01) ,  F16J 15/52 ( 200 6.01)

FI (2件)：

F16J 3/04 B ,  F16J 15/52 Z

引用特許：

出願人引用 (5件)

• 特公昭45-019670
  
• ベローズ製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-061584   出願人：石川島播磨重工業株式会社, 株式会社東芝
• 特開昭62-251570
  
• 特開平4-282499
  
• 蛇腹用シート体及び蛇腹
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-251830   出願人：株式会社ナベル