特許
J-GLOBAL ID：201503013450439264

流量センサおよびその製造方法

発明者：
河野 務

河野 務 について

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半沢 恵二

半沢 恵二 について

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徳安 昇

徳安 昇 について

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田代 忍

田代 忍 について


出願人/特許権者：
日立オートモティブシステムズ株式会社

日立オートモティブシステムズ株式会社 について


代理人 (1件)： 筒井 大和
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-062577
公開番号（公開出願番号）：特開2013-195231
特許番号：特許第5763575号
出願日： 2012年03月19日
公開日（公表日）： 2013年09月30日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 (a)第1チップ搭載部と、 (b)前記第1チップ搭載部上に配置された第1半導体チップと、を備え、 前記第1半導体チップは、 (b1)第1半導体基板の主面上に形成された流量検出部と、 (b2)前記第1半導体基板の前記主面とは反対側の裏面のうち、前記流量検出部と相対する領域に形成されたダイヤフラムとを有する流量センサであって、 前記第1半導体チップ上に搭載され、かつ、少なくとも前記流量検出部を露出する開口部を有する枠体であって、前記第1半導体チップよりも弾性係数が小さい材質からなる前記枠体を含み、 前記第1半導体チップに形成されている前記流量検出部を前記枠体の前記開口部から露出した状態で、前記第1半導体チップの一部が、樹脂を含む封止体で封止され、 前記開口部を有する前記枠体は、前記第1半導体チップの少なくとも1つの側面に並行で、かつ、前記側面に密着する壁部を有し、 平面視において、前記枠体を構成する枠部と前記ダイヤフラムとは、重ならないように配置されている流量センサ。
IPC (1件)：
G01F 1/684 ( 200 6.01)
FI (1件)：
G01F 1/684 A
引用特許：
出願人引用 (4件)
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審査官引用 (4件)
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