特許
J-GLOBAL ID:201503013497784031

円二色性計測方法及び円二色性計測装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (3件): 長谷川 芳樹 ,  黒木 義樹 ,  石田 悟
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2013-209345
公開番号(公開出願番号):特開2015-075329
出願日: 2013年10月04日
公開日(公表日): 2015年04月20日
要約:
【課題】試料の円二色性をより正確且つ簡便に計測する。【解決手段】ミュラー行列の行列要素S02と行列要素S20とをそれぞれ求めた後、これに基づいて円二色性を算出することで、従来の円二色性の測定結果には含まれていたアーチファクト成分が除去される。したがって、円二色性計測装置1を用いて、行列要素S02及び行列要素S20を測定し、これらの結果を用いて円二色性を算出する構成とすることで、より正確な円二色性の測定を行うことができる。また、円二色性計測装置1による円二色性計測方法では、行列要素S02及びS20の算出の際に、光源からの偏光特性の影響を受けないような処理が行われるため、光源に水平垂直方向の偏光成分が存在したとしても、その影響を受けないため、より正確に円二色性を計測することが可能となる。【選択図】図1
請求項(抜粋):
測定対象の試料に係るミュラー行列を下記の数式(1)
IPC (1件):
G01N 21/19
FI (1件):
G01N21/19
Fターム (21件):
2G059AA02 ,  2G059BB04 ,  2G059BB08 ,  2G059BB10 ,  2G059CC12 ,  2G059CC16 ,  2G059EE01 ,  2G059EE05 ,  2G059EE12 ,  2G059GG06 ,  2G059HH03 ,  2G059HH06 ,  2G059JJ01 ,  2G059JJ02 ,  2G059JJ18 ,  2G059JJ19 ,  2G059JJ20 ,  2G059JJ30 ,  2G059KK04 ,  2G059MM01 ,  2G059NN10
引用特許:
審査官引用 (2件)

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