特許

J-GLOBAL ID：201503013704380396

サーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサ

発明者： 藤田 利晃 ,  田中 寛 ,  長友 憲昭
出願人/特許権者： 三菱マテリアル株式会社
代理人 (1件)： 杉浦 秀幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-100661
公開番号（公開出願番号）：特開2015-043410
出願日： 2014年05月14日
公開日（公表日）： 2015年03月05日
要約：

【課題】 フィルム等に非焼成で直接成膜することができ、高い耐熱性を有して信頼性が高いサーミスタ用金属窒化物材料及びその製造方法並びにフィルム型サーミスタセンサを提供すること。【解決手段】 サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、一般式:(M1-vVv)xAly(N1-wOw)z(0.0<v<1.0、0.70≦y/(x+y)≦0.98、0.45≦z≦0.55、0<w≦0.35、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であり、前記Mが、Ti,Crの内の1種又は2種である。このサーミスタ用金属窒化物材料の製造方法は、M-V-Al合金スパッタリングターゲットを用いて窒素及び酸素含有雰囲気中で反応性スパッタを行って成膜する成膜工程を有しており、前記Mが、Ti,Crの内の1種又は2種である。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

サーミスタに用いられる金属窒化物材料であって、 一般式:(M1-vVv)xAly(N1-wOw)z(0.0<v<1.0、0.70≦y/(x+y)≦0.98、0.45≦z≦0.55、0<w≦0.35、x+y+z=1)で示される金属窒化物からなり、 その結晶構造が、六方晶系のウルツ鉱型の単相であり、 前記Mが、Ti,Crの内の1種又は2種であることを特徴とするサーミスタ用金属窒化物材料。

IPC (2件)：

H01C 7/04 ,  H01C 17/12

FI (2件)：

H01C7/04 ,  H01C17/12

Fターム (7件)：

5E032BA03 ,  5E032BB10 ,  5E034BA09 ,  5E034BB08 ,  5E034BC20 ,  5E034DA10 ,  5E034DB20