熱処理装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-054635
公開番号（公開出願番号）：特開2013-190112
特許番号：特許第5769653号
出願日： 2012年03月12日
公開日（公表日）： 2013年09月26日
請求項（抜粋）：

【請求項1】フッ素系不活性液体を熱媒体として電子素子を熱処理する熱処理装置であって、開口部を有し、前記フッ素系不活性液体を保持可能な液体保持部が形成された保持槽と、前記保持槽の前記開口部側に配置され、前記液体保持部側に対向する内面と、前記内面とは反対側の面である外面とを有する蓋とを備え、前記蓋には、前記電子素子を保持しつつ前記フッ素系不活性液体に浸漬可能な籠からなる素子保持部が設置され、前記蓋には、前記液体保持部と前記熱処理装置の外部とを連通する中空部が、前記外面の上方から見て前記素子保持部から離れて形成されており、前記中空部は外部に対して塞がれており、前記中空部は前記蓋から前記熱処理装置の外部側へ突出する、熱処理装置。

IPC (2件)：