特許

J-GLOBAL ID：201503014077372746

金属酸化物の堆積方法

発明者： 田口 実
出願人/特許権者： 学校法人 中央大学
代理人 (4件)： 本多 一郎 ,  杉本 由美子 ,  渡耒 巧 ,  大田黒 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-008077
公開番号（公開出願番号）：特開2015-137188
出願日： 2014年01月20日
公開日（公表日）： 2015年07月30日
要約：

【課題】従来よりも簡便な設備で、かつ、容易に金属酸化物を基板に堆積させることのできる金属酸化物の堆積方法を提供する。【解決手段】耐圧容器に、金属酸化物の前駆体である金属塩と、水と、基板とを封入し、150〜300°Cで1時間以上反応させることにより、該基板の表面上に、金属酸化物の微粒子を堆積させる。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

耐圧容器に、金属酸化物の前駆体である金属塩と、水と、基板とを封入し、150〜300°Cで1時間以上反応させることにより、該基板の表面上に、金属酸化物の微粒子を堆積させることを特徴とする金属酸化物の堆積方法。

IPC (9件)：

C01B 13/32 ,  C01F 17/00 ,  C01G 25/02 ,  C01G 23/04 ,  C01G 49/06 ,  C01G 11/00 ,  C01F 7/34 ,  B01J 3/00 ,  B01J 19/00

FI (9件)：

C01B13/32 ,  C01F17/00 A ,  C01G25/02 ,  C01G23/04 B ,  C01G49/06 Z ,  C01G11/00 ,  C01F7/34 Z ,  B01J3/00 B ,  B01J19/00 K

Fターム (41件)：

4G002AA03 ,  4G002AB05 ,  4G002AD04 ,  4G002AE03 ,  4G002AE05 ,  4G042DA01 ,  4G042DB11 ,  4G042DB22 ,  4G042DB24 ,  4G042DC03 ,  4G042DD01 ,  4G047CA02 ,  4G047CB05 ,  4G047CC03 ,  4G047CD03 ,  4G048AA02 ,  4G048AB02 ,  4G048AC03 ,  4G048AC08 ,  4G048AD03 ,  4G048AE07 ,  4G075AA24 ,  4G075BA10 ,  4G075BB10 ,  4G075CA02 ,  4G075CA05 ,  4G075DA18 ,  4G075EA06 ,  4G075EB12 ,  4G076AA02 ,  4G076AB06 ,  4G076AB07 ,  4G076BA12 ,  4G076BA14 ,  4G076BD02 ,  4G076BD04 ,  4G076CA02 ,  4G076DA07 ,  4G076DA11 ,  4G076DA14 ,  4G076DA18