特許
J-GLOBAL ID：201503014137579360
膜厚測定方法および膜厚測定装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (2件)：
須田 篤
, 楠 修二
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2011075369
公開番号（公開出願番号）：WO2013-065164
出願日： 2011年11月04日
公開日（公表日）： 2013年05月10日
要約：
【課題】両面の被膜の厚さを同時に測定することができる膜厚測定方法および膜厚測定装置を提供する。【解決手段】超音波探触子11により、両面に膜が形成された被膜板材1の表面側から超音波を入射し、被膜板材1の裏面側で反射した超音波のエコーを測定する。コンピュータ12の受信手段21により、測定された超音波エコーを受信する。演算手段23により、受信手段21で受信された被膜板材1のエコーの振幅スペクトルと、あらかじめ測定して記憶手段22に記憶された膜無し板材1cのエコーの振幅スペクトルとのスペクトル比を求める。さらに、演算手段23により、表面被膜1aの共鳴周波数をスペクトル比の最大値をとる周波数とし、裏面被膜1bの共鳴周波数をスペクトル比の極小値をとる周波数として求め、求められた各共鳴周波数から表面被膜1aおよび裏面被膜1bの厚さを求める。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
両面に膜が形成された被膜板材の表面被膜および裏面被膜の厚さを測定する膜厚測定方法であって、
前記被膜板材の表面側から超音波を入射し、
前記被膜板材の裏面側で反射した前記超音波のエコーを測定し、
測定された前記エコーに基づいて、前記表面被膜および前記裏面被膜の共鳴周波数をそれぞれ求め、
求められた各共鳴周波数から前記表面被膜および前記裏面被膜の厚さを求めることを
特徴とする膜厚測定方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (12件)：
2F068AA28
, 2F068BB01
, 2F068BB15
, 2F068FF14
, 2F068FF17
, 2F068FF23
, 2F068HH01
, 2F068KK02
, 2F068KK13
, 2F068NN02
, 2F068QQ10
, 2F068QQ42
