特許

J-GLOBAL ID：201503014215069129

X線装置、X線照射方法、及び構造物の製造方法

発明者： 渡部 貴志
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (2件)： 川北 喜十郎 ,  藤田 正広
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012075612
公開番号（公開出願番号）：WO2013-051594
出願日： 2012年10月03日
公開日（公表日）： 2013年04月11日
要約：

検出精度の低下を抑制できるX線装置を提供する。 X線装置は、物体にX線を照射して物体を通過するX線を検出する。X線装置は、X線を射出するX線源と、物体を保持するステージと、X線源から射出され、物体を通過したX線の少なくとも一部を検出する検出装置と、X線源、ステージ、及び検出装置が配置される内部空間を形成するチャンバ部材と、内部空間を、X線源が配置される第1空間と検出装置が配置される第2空間とに分ける仕切部と、を備える。

請求項（抜粋）：

物体にX線を照射して前記物体を通過するX線を検出するX線装置であって、 X線を射出するX線源と、 前記物体を保持するステージと、 前記X線源から射出され、前記物体を通過した前記X線の少なくとも一部を検出する検出装置と、 前記X線源、前記ステージ、及び前記検出装置が配置される内部空間を形成するチャンバ部材と、 前記内部空間を、前記X線源が配置される第1空間と前記検出装置が配置される第2空間とに分ける仕切部と、を備えるX線装置。

IPC (1件)：

G01N 23/04

FI (1件)：

G01N23/04

Fターム (4件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001PA12