特許

J-GLOBAL ID：201503014349172083

ウエハマップデータ照合システム及びウエハマップデータ照合方法

発明者： 保坂 英希
出願人/特許権者： 富士機械製造株式会社
代理人 (1件)： 加古 宗男
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012058316
公開番号（公開出願番号）：WO2013-145202
出願日： 2012年03月29日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：

ウエハマップデータ画像は、カメラで撮像したウエハ画像と同じダイの配列イメージで、格子状の線で仕切られた各ダイの区画がウエハ画像の各ダイと同じサイズで表示される。作業者がマウス、キーボード等の入力装置又はタッチパネルを操作して、表示装置の画面上で、ウエハ画像又はウエハマップデータ画像の表示位置を移動させてウエハ画像とウエハマップデータ画像とを重ね合わせて合致させることで、ウエハ画像とウエハマップデータ画像とを照合して、吸着開始ダイを指定する。この後、生産を開始して、ウエハマップデータに従って、吸着開始ダイから良品ダイのみを順番にピックアップして基板に実装する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

複数のダイに分割するようにダイシングされたウエハの少なくとも一部をカメラで撮像したウエハ画像と前記ウエハの各位置のダイの良否を示すウエハマップデータ画像とを表示する表示装置と、前記ウエハ画像と前記ウエハマップデータ画像とを照合する操作を行う操作手段とを備えたウエハマップデータ照合システムにおいて、 前記ウエハマップデータ画像は、前記ウエハ画像と同じダイの配列イメージで表示され、 前記操作手段は、前記表示装置の画面上で前記ウエハ画像又は前記ウエハマップデータ画像の表示位置を移動させて前記ウエハ画像と前記ウエハマップデータ画像とを重ね合わせて合致させることで、前記ウエハ画像と前記ウエハマップデータ画像とを照合するように構成されていることを特徴とするウエハマップデータ照合システム。

IPC (4件)：

H01L 21/52 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/02 ,  H05K 13/08

FI (5件)：

H01L21/52 F ,  H01L21/66 A ,  H01L21/52 D ,  H01L21/02 Z ,  H05K13/08 A

Fターム (8件)：

4M106AA01 ,  4M106DA15 ,  4M106DJ18 ,  5F047AA17 ,  5F047FA02 ,  5F047FA04 ,  5F047FA08 ,  5F047FA75