特許
J-GLOBAL ID:201503014350068265
恒温器具
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (2件):
加藤 久
, 久保山 隆
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-265398
公開番号(公開出願番号):特開2014-109544
特許番号:特許第5805615号
出願日: 2012年12月04日
公開日(公表日): 2014年06月12日
請求項(抜粋):
【請求項1】 加熱手段及び冷却手段を有する恒温プレートと、前記恒温プレート上に設けられた供試体搭載ステージと、前記恒温プレート上に配置され前記供試体搭載ステージの周りを包囲する開口部を有する平板状の隔壁部材と、前記供試体搭載ステージを覆うように配置された透光性の耐熱ガラス製の天井部材とを備え、前記加熱手段として、前記恒温プレートを加熱する発熱体を設け、前記冷却手段として前記恒温プレートを空冷する送風ファンを設けた恒温器具。
IPC (2件):
G01R 31/26 ( 201 4.01)
, H01L 33/00 ( 201 0.01)
FI (3件):
G01R 31/26 H
, G01R 31/26 F
, H01L 33/00 K
引用特許:
出願人引用 (3件)
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電子部品試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-254803
出願人:松下電器産業株式会社
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電子部品の試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2003-301552
出願人:理想計測株式会社
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温度制御式製品検査装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平9-183043
出願人:株式会社クレスト
審査官引用 (1件)
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電子部品試験装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願2005-254803
出願人:松下電器産業株式会社
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