特許

J-GLOBAL ID：201503014393689718

粒子の緻密膜を用いて基板上に物体を移送するための方法

発明者： オリヴィエ・デレア ,  フィリップ・コロネル ,  パスカル・フュジエ
出願人/特許権者： コミッサリア ア レネルジー アトミーク エ オ ゼネルジ ザルタナテイヴ
代理人 (4件)： 村山 靖彦 ,  志賀 正武 ,  渡邊 隆 ,  実広 信哉
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-549487
公開番号（公開出願番号）：特表2015-504032
出願日： 2012年12月28日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：

本発明は、基板(38)上に物体(50)を移送する、好ましくは移動する分野に関し、移送されるべき物体は、互いに反対の位置にある2つの側辺(28)によって互いに離間された入口(22)と出口(26)を備え、且つ、コンベアを形成する搬送液体(16)を保持する、移送領域(14)に配置され、物体(50)は、この移送領域の搬送液体(16)上に浮遊する粒子の緻密膜(4)によって保持され、移送領域において、前記物体(50)は、物体が出口(26)に到達するときに基板(38)上に移送されるように、粒子膜(4)によって移動される。

請求項（抜粋）：

基板(38)上に物体(50)を移送するための、好ましくは移動するための方法であって、 互いに反対の位置にある二つの側辺(28)によって互いに離間された入口(22)と出口(26)を備え、且つ、コンベアを形成する搬送液体(16)を保持する、移送領域(14)を用いて実施され、前記物体(50)は、この移送領域の前記搬送液体(16)上に浮遊する粒子の緻密膜(4)によって保持され、前記移送領域において、前記物体(50)は、前記物体が前記出口(26)に到達するときに前記基板(38)上に移送されるように、前記緻密粒子膜(4)によって移動されることを特徴とする方法。

IPC (1件)：

B65G 53/00

FI (1件)：

B65G53/00

Fターム (1件)：

3F047BA00