アライメント装置およびアライメント方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：特許業務法人楓国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-517951
特許番号：特許第5758993号
出願日： 2012年05月16日
請求項（抜粋）：

【請求項1】上面の外周部を環状のダイシングフレームに保持されたダイシングテープにおける前記ダイシングフレームよりも内側の部分に貼付されたアライメント対象物の底面を吸着して回転する吸着回転手段と、前記吸着回転手段が吸着している位置とは異なる位置において不活性ガスを噴出し、回転する前記アライメント対象物を噴出される前記不活性ガスにより支持する支持手段と、前記アライメント対象物の位置を検出する位置検出手段と、を備え、前記支持手段は、前記ダイシングフレームの底面側における等間隔の4箇所に対向する位置に、前記不活性ガスを上向きに噴出するノズルを配置し、前記位置検出手段は、前記4箇所の前記ノズルのうち隣り合う2つのノズルの中間の位置に配置したアライメント装置。

IPC (1件)：