特許

J-GLOBAL ID：201503014785672741

外観検査装置、外観検査方法およびプログラム

発明者： 勝山 英和
出願人/特許権者： 株式会社キーエンス
代理人 (5件)： 大塚 康徳 ,  高柳 司郎 ,  大塚 康弘 ,  木村 秀二 ,  坂本 隆志
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-022759
公開番号（公開出願番号）：特開2015-148568
出願日： 2014年02月07日
公開日（公表日）： 2015年08月20日
要約：

【課題】高さ画像データに対して設定される基準位置の位置補正について補正モードを選択できるようにする。【解決手段】ワーク2の高さ画像に対して、高さを計測される領域である計測領域307と、高さの基準となる基準位置を定義するための基準領域401とが指定される。ユーザインタフェース400には、補正モード選択部404が設けられていてもよい。補正モード選択部404は、たとえば、基準領域401の位置をワーク2の位置と回転量に追従して補正するかどうかを選択するためのチェックボックスである。なお、補正モード選択部404は、基準領域401に適用される補正モードを選択可能なものであればどのようなコントロールであってもよい。【選択図】図4

請求項（抜粋）：

検査対象物を撮像して当該検査対象物の各部の高さを画素値として表現する高さ画像データを取得する取得手段と、 前記検査対象物の良品についての高さ画像データを表示する表示手段と、 前記表示手段に表示された高さ画像データに対して高さ計測の基準となる基準位置を設定する基準位置設定手段と、 前記表示手段に表示された高さ画像データに対して高さ計測の対象となる領域である計測領域を設定する計測領域設定手段と、 検査対象物の高さ画像データにおける前記検査対象物の位置に基づき、前記検査対象物の高さ画像データに対する前記基準位置と前記計測領域の位置を補正する第1補正モードと、前記検査対象物の高さ画像データに対する前記基準位置を補正しないかまたは前記計測領域とは異なる位置補正を行いつつ前記計測領域の位置を補正する第2補正モードとのいずれかを選択する選択手段と、 前記第1補正モードが選択されると、検査対象物の高さ画像データにおける前記検査対象物の位置に基づき前記検査対象物の高さ画像データに対する前記計測領域の位置を補正するとともに前記計測領域に追随して前記基準位置も補正し、前記第2補正モードが選択されると、検査対象物の高さ画像データにおける前記検査対象物の位置に基づき前記検査対象物の高さ画像データに対する前記基準位置を補正しないかまたは前記計測領域とは異なる位置補正を行いつつ前記計測領域の位置を補正する位置補正手段と、 前記位置補正手段による補正が実行された後に、前記検査対象物の高さ画像データに設定された前記計測領域について前記基準位置からの高さを計測する計測手段と を有することを特徴とする外観検査装置。

IPC (4件)：

G01B 11/02 ,  G01N 21/892 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00

FI (4件)：

G01B11/02 H ,  G01N21/892 Z ,  G01B11/24 K ,  G06T1/00 305

Fターム (75件)：

2F065AA03 ,  2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA12 ,  2F065AA17 ,  2F065AA21 ,  2F065AA22 ,  2F065AA24 ,  2F065AA33 ,  2F065AA37 ,  2F065AA49 ,  2F065AA52 ,  2F065AA53 ,  2F065AA54 ,  2F065AA58 ,  2F065BB05 ,  2F065DD14 ,  2F065DD19 ,  2F065EE07 ,  2F065FF01 ,  2F065FF02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF09 ,  2F065FF26 ,  2F065GG04 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065PP15 ,  2F065QQ04 ,  2F065QQ08 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ18 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ29 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ38 ,  2F065QQ42 ,  2F065RR08 ,  2F065SS02 ,  2F065SS04 ,  2F065SS13 ,  2G051AA01 ,  2G051AA61 ,  2G051AB02 ,  2G051AC21 ,  2G051BA10 ,  2G051BA20 ,  2G051CA03 ,  2G051CA04 ,  2G051CB01 ,  2G051DA06 ,  2G051DA09 ,  2G051EA01 ,  2G051EA08 ,  2G051EA12 ,  2G051EA14 ,  2G051EA16 ,  2G051EB01 ,  2G051ED13 ,  5B057AA03 ,  5B057DA07 ,  5B057DA13 ,  5B057DA20 ,  5B057DB03 ,  5B057DB09 ,  5B057DC04 ,  5B057DC06 ,  5B057DC08 ,  5B057DC16 ,  5B057DC19 ,  5B057DC30 ,  5B057DC33