特許
J-GLOBAL ID：201503014883608024
光結合回路素子及びその作製方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人 谷・阿部特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-176393
公開番号（公開出願番号）：特開2014-035439
特許番号：特許第5753136号
出願日： 2012年08月08日
公開日（公表日）： 2014年02月24日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 基板と、前記基板上の光導波路と、前記光導波路上の光学素子とから構成された光結合回路において、前記光導波路を伝播する光を反射して前記光学素子に結合させるミラーを前記光導波路の端部に作製する方法であって、
(a)ミラー開口部となる部分を除いた前記光導波路及び前記光結合素子を覆うように、エッチングマスクを形成するステップと、
(b)前記光導波路伸長方向に対して所定のエッチング角度で異方性エッチングを行うことにより、ミラー溝を形成するステップと、
(c)前記(a)ステップ及び前記(b)ステップを複数回繰り返して、複数面から成るミラー面を得るステップと
を備え、
前記(b)ステップをn回行う場合に(ただしnは2以上の整数)、n回目の異方性プラズマエッチングを行うときの前記光導波路伸長方向に対する所定のエッチング角度をθnとすると、θ1<θ2<・・・<θnの関係を満たすことを特徴とするミラーを作製する方法。
IPC (3件)：
G02B 6/136 ( 200 6.01)
, G02B 6/12 ( 200 6.01)
, G02B 6/42 ( 200 6.01)
G02B 6/136
, G02B 6/12 301
, G02B 6/42
