特許
J-GLOBAL ID：201503014938970142
電力パルスシーケンスを供給する方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人深見特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-505525
特許番号：特許第5713331号
出願日： 2012年04月04日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 PVD吹き付けカソードを作動させるために、拡大縮小可能な電力パルス間隔を有する電力パルスを提供する方法であって、前記PVD吹き付けカソードは第1部分カソードと第2部分カソードとを有し、前記部分カソード用の最大平均電力負荷は予め決められていて、前記電力パルス間隔の長さは予め決められていて、前記方法は、以下の工程、すなわち、
a)少なくともスイッチを入れた後および電力立ち上げ間隔の経過後に、所定の一定の電力を出力する発電機を提供する工程と、
b)前記発電機のスイッチを入れる工程と、
c)前記第1部分カソードを前記発電機と接続する工程であって、その結果、前記第1部分カソードが前記発電機からの電力で負荷される工程と、
d)前記第1部分カソードに対応する所定の第1電力パルス間隔の経過後に、前記発電機を前記第1部分カソードから切り離す工程と、
e)前記第2部分カソードを前記発電機と接続する工程であって、その結果、前記第2部分カソードが前記発電機からの電力で負荷される工程と、
f)前記第2部分カソードに対応する所定の第2電力パルス間隔の経過後に、前記発電機を前記第2部分カソードから切り離す工程と、
を含み、
前記第1電力パルス間隔が、前記第2電力パルス間隔より時間的に前に開始し、前記第1電力パルス間隔が、前記第2電力パルス間隔より時間的に前に終了する方法
において、
前記第1電力パルス間隔と前記第2電力パルス間隔とが時間的に重複し、全ての電力パルス間隔が共になって第1群を形成し、その結果、前記発電機からの電力出力が中断なしに前記第1電力パルス間隔の開始から、前記第2電力パルス間隔の終了まで一貫して存在し続け、かつ第2電力立ち上げ間隔は生じないように前記工程d)と前記工程e)とが実施され、
損失間隔の間は、前記発電機から出力される電力が、コーティング用に利用される負荷には出力されず、
前記損失間隔は、少なくとも前記電力立ち上げ間隔を含み、前記損失間隔は前記第1群の前記第1電力パルス間隔と重複し、前記損失間隔は前記複数の群と共に中断のない隊列を形成する
ことを特徴とする方法。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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