特許

J-GLOBAL ID：201503015202305970

光照射装置および描画装置

発明者： 笹田 正樹 ,  小久保 正彦 ,  上山 憲司 ,  北村 藤和 ,  古谷 祥雄
出願人/特許権者： 株式会社SCREENホールディングス
代理人 (3件)： 松阪 正弘 ,  田中 勉 ,  井田 正道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-156411
公開番号（公開出願番号）：特開2015-025988
出願日： 2013年07月29日
公開日（公表日）： 2015年02月05日
要約：

【課題】均一な強度分布の照射光を容易に得る。【解決手段】光照射装置31は、光軸J1に垂直な一の配列方向に一定ピッチにて配列された複数のレンズ71を有する。光源4からのレーザ光は、第1レンズ部6により複数のレンズ71へと導かれて配列方向に分割され、複数のレンズ71からの光の照射領域51が、第2レンズ部8により光軸J1上の照射面320にて重ねられる。光源4の出射領域41において配列方向の任意の一の位置からの光に着目した場合、複数のレンズ71にて分割された光により、明部が配列方向に一定の縞ピッチにて並ぶ干渉縞が照射面320上に生じる。実際には、出射領域41の配列方向の幅全体からの光により、当該干渉縞の明部の集合であって、当該明部よりも幅が広い幅広明部が配列方向に縞ピッチにて並ぶ。光照射装置31では、各幅広明部の幅が縞ピッチの整数倍とされる。これにより、均一な強度分布の照射光が容易に得られる。【選択図】図2

請求項（抜粋）：

光照射装置であって、 レーザ光を出射する光源と、 前記レーザ光が入射するとともに所定の照射面へと前記レーザ光を導く光学系と、 を備え、 前記光学系が、 前記光源からの前記レーザ光を所定位置に導く第1レンズ部と、 前記光学系の光軸に垂直な一の配列方向に関して、一定のレンズピッチにて配列された複数のレンズを前記所定位置に有し、前記第1レンズ部からの光を前記複数のレンズにて分割する分割レンズ部と、 前記光軸上に配置された前記照射面上にて前記複数のレンズからの光の照射領域を重ねる第2レンズ部と、 を備え、 前記光源における出射領域において前記配列方向の任意の一の位置からの光に着目した場合に、前記複数のレンズにて分割された光により、明部が前記配列方向に一定の縞ピッチにて並ぶ干渉縞が前記照射面上に生じ、 前記出射領域の前記配列方向の幅全体からの光により、前記干渉縞の明部の集合であって、前記明部よりも幅が広い幅広明部が前記配列方向に前記縞ピッチにて並び、各幅広明部の幅が前記縞ピッチの整数倍であることを特徴とする光照射装置。

IPC (2件)：

G02B 3/00 ,  H01L 21/027

FI (2件)：

G02B3/00 A ,  H01L21/30 515D

Fターム (4件)：

5F146BA03 ,  5F146CB13 ,  5F146CB14 ,  5F146CB34