特許

J-GLOBAL ID：201503015211566167

高周波電源発生装置

発明者： 橋本 隆 ,  柴田 淳一 ,  鵜飼 佳和
出願人/特許権者： 三菱電機株式会社
代理人 (1件)： 酒井 宏明
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2012062956
公開番号（公開出願番号）：WO2012-169337
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
要約：

複数のスイッチング素子を並列に並べてサイクリックにオンオフする場合に、負荷が非線形に変動しても安定した電圧パルス出力が得られる高周波電源発生装置を得るために、本発明の高周波電源発生装置では、スイッチング素子群(6a),(6b)はサイクリックにオンオフ動作させる複数のスイッチング素子を並列接続した構成であって、直流電源(5)の+電極端にスイッチング素子群(6a)の一方の並列接続端が接続され、直流電源(5)の-電極端にスイッチング素子群(6b)の一方の並列接続端が接続され、スイッチング素子群(6a),(6b)の各他方の並列接続端は、リアクトル(7)を通して接続され、スイッチング素子群(6a),(6b)でのサイクリックなオンオフ動作によりリアクトル(7)の両端に現れるパルス電圧は、同軸ケーブル(8)、整合回路(9)を通して負荷に印加される構成とした。

請求項（抜粋）：

直流電源と、 サイクリックにオンオフ動作させる複数のスイッチング素子を並列接続したスイッチング素子群であって一方の並列接続端が前記直流電源の一方の電極端に接続されるスイッチング素子群と、 前記スイッチング素子群の他方の並列接続端と前記直流電源の他方の電極端との間を接続する第1のインダクタンス素子と、 前記第1のインダクタンス素子の両端に現れるパルス電圧を負荷に供給する経路に設けられる整合回路と を備えたことを特徴とする高周波電源発生装置。

IPC (1件)：

B23H 1/02

FI (1件)：

B23H1/02 B

Fターム (5件)：

3C059AA01 ,  3C059AB05 ,  3C059BA03 ,  3C059BA13 ,  3C059BA15