研磨材および研磨方法

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者： , ,
代理人 (3件)：福田賢三 , 福田伸一 , 加藤恭介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-054845
公開番号（公開出願番号）：特開2015-174985
出願日： 2014年03月18日
公開日（公表日）： 2015年10月05日
要約：

【課題】電界印加研磨技術に特化した研磨材であり、高い電界印加効果を実現することができる研磨材及び研磨方法の提供。【解決手段】研磨定盤と被研磨部材との間に供給されると共に電圧が印加され、電圧によって生じた電界によって研磨定盤と被研磨部材との間に引き寄せられる砥粒及び分散媒が含まれた研磨材において、誘電率が分散媒よりも高いコア材料を、被研磨部材に対する単位時間当たりの研磨量(研磨レート)がコア材料よりも高いシェル材料で被覆した複合化研磨材。前記コア材料がチタン金属複合酸化物であり、SrTiO3及び/又はBaTiO3であり、シェル材料は酸化物、炭化物、窒化物、硼化物、ダイヤモンドから選択される一種又は二種以上の材料である【選択図】図3

請求項（抜粋）：

研磨定盤と被研磨部材との間に供給されると共に電圧が印加され、電圧によって生じた電界によって前記研磨定盤と前記被研磨部材との間に寄せられる砥粒および分散媒が含まれた研磨材において、前記砥粒が、コア材料と、このコア材料を被覆するシェル材料とから構成され、前記砥粒の誘電率が前記分散媒よりも高く、前記被研磨部材に対する単位時間当たりの研磨量が、前記コア材料よりも前記シェル材料の方が高い、ことを特徴とする研磨材。

IPC (3件)：

C09K 3/14 , H01L 21/304 , B24B 1/00

FI (3件)：

C09K3/14 550C , H01L21/304 621D , B24B1/00 A

Fターム (18件)：

3C049AA07 , 3C049AA09 , 3C049AA16 , 3C049CA04 , 3C049CA05 , 3C049CA06 , 3C049CB01 , 3C049CB03 , 5F057AA14 , 5F057AA23 , 5F057BA12 , 5F057BB09 , 5F057CA19 , 5F057DA04 , 5F057EA01 , 5F057EA11 , 5F057EA28 , 5F057EB21

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