特許

J-GLOBAL ID：201503015556141844

圧力センサ、マイクロフォン、超音波センサ、血圧センサ及びタッチパネル

発明者： 増西 桂 ,  福澤 英明 ,  藤 慶彦 ,  湯澤 亜希子 ,  岡本 和晃
出願人/特許権者： 株式会社東芝
代理人 (11件)： 蔵田 昌俊 ,  福原 淑弘 ,  野河 信久 ,  峰 隆司 ,  河野 直樹 ,  砂川 克 ,  井関 守三 ,  井上 正 ,  佐藤 立志 ,  岡田 貴志 ,  堀内 美保子
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-108502
公開番号（公開出願番号）：特開2015-224903
出願日： 2014年05月26日
公開日（公表日）： 2015年12月14日
要約：

【課題】 高感度の圧力センサを提供する。【解決手段】 一実施形態に係る圧力センサは、基板、支持部、膜部及び磁気抵抗素子を備える。支持部は、ヤング率の異なる第1の接着部材及び第2の接着部材を用いて前記基板に接着される。膜部は、前記支持部によって支持され、可撓性を有する。磁気抵抗素子は、前記膜部に設けられ、第1の磁性層、第2の磁性層、及び前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に配置されたスペーサ層を含む。【選択図】図5

請求項（抜粋）：

基板と、 ヤング率の異なる第1の接着部材及び第2の接着部材を用いて前記基板に接着された支持部と、 前記支持部によって支持された可撓性のある膜部と、 前記膜部に設けられ、第1の磁性層、第2の磁性層、及び前記第1の磁性層と前記第2の磁性層との間に配置されたスペーサ層を含む磁気抵抗素子と、 を具備することを特徴とする圧力センサ。

IPC (6件)：

G01L 1/12 ,  H01L 43/08 ,  H01L 29/84 ,  G01L 9/16 ,  H04R 23/00 ,  G06F 3/041

FI (9件)：

G01L1/12 ,  H01L43/08 Z ,  H01L43/08 U ,  H01L29/84 A ,  H01L29/84 B ,  G01L9/16 ,  H04R23/00 320 ,  H04R23/00 330 ,  G06F3/041 600

Fターム (39件)：

2F055AA05 ,  2F055AA39 ,  2F055BB20 ,  2F055CC02 ,  2F055DD02 ,  2F055DD05 ,  2F055EE29 ,  2F055FF11 ,  2F055GG12 ,  4M112AA01 ,  4M112BA01 ,  4M112CA04 ,  4M112CA07 ,  4M112CA15 ,  4M112EA05 ,  4M112EA06 ,  4M112EA07 ,  4M112EA11 ,  4M112EA12 ,  4M112FA01 ,  5D019AA21 ,  5D019DD00 ,  5D019FF01 ,  5D021DD03 ,  5F092AA01 ,  5F092AB10 ,  5F092AC08 ,  5F092AC12 ,  5F092AD03 ,  5F092AD12 ,  5F092BB22 ,  5F092BB23 ,  5F092BB31 ,  5F092BB34 ,  5F092BB35 ,  5F092BB36 ,  5F092BB42 ,  5F092BB43 ,  5F092BC04