特許

J-GLOBAL ID：201503015707639076

窒化珪素焼結体基板及びその製造方法

発明者： 李 徳善 ,  加賀 洋一郎 ,  渡辺 純一
出願人/特許権者： 日立金属株式会社
代理人 (1件)： 高石 橘馬
公報種別：再公表公報
出願番号（国際出願番号）：JP2013058813
公開番号（公開出願番号）：WO2013-146789
出願日： 2013年03月26日
公開日（公表日）： 2013年10月03日
要約：

80〜98.3質量%のSi3N4、0.7〜10質量%(酸化物換算)のMg、及び1〜10質量%(酸化物換算)の少なくとも1種の希土類元素を含有し、縦横がそれぞれ100 mm以上で、厚さ0.7 mm以下の窒化珪素焼結体基板を製造する方法であって、窒化珪素粉末と、Mg及び少なくとも1種の希土類元素を含有する焼結助剤粉末とを混合する工程と、得られた混合粉末を成形する工程と、得られたグリーンシートを窒素雰囲気中で焼成する工程とを有し、グリーンシートに10〜600 Paの荷重がかかるように、グリーンシートの上に重し板を配置した状態で焼成工程を行うことを特徴とする方法。

請求項（抜粋）：

80〜98.3質量%のSi3N4、0.7〜10質量%(酸化物換算)のMg、及び1〜10質量%(酸化物換算)の少なくとも1種の希土類元素を含有し、縦横がそれぞれ100 mm以上で、厚さ0.7 mm以下の窒化珪素焼結体基板を製造する方法であって、 窒化珪素粉末と、Mg及び少なくとも1種の希土類元素を含有する焼結助剤粉末とを混合する工程と、 得られた混合粉末を成形する工程と、 得られたグリーンシートを窒素雰囲気中で焼成する工程とを有し、 前記グリーンシートに10〜600 Paの荷重がかかるように、前記グリーンシートの上に重し板を配置した状態で前記焼成工程を行うことを特徴とする方法。

IPC (5件)：

C04B 35/584 ,  C04B 35/622 ,  H05K 1/03 ,  H01L 23/373 ,  H01L 23/12

FI (5件)：

C04B35/58 102C ,  C04B35/00 E ,  H05K1/03 610D ,  H01L23/36 M ,  H01L23/12 D

Fターム (34件)：

4G001BA06 ,  4G001BA09 ,  4G001BA32 ,  4G001BB06 ,  4G001BB09 ,  4G001BB32 ,  4G001BC22 ,  4G001BC51 ,  4G001BC52 ,  4G001BC54 ,  4G001BC55 ,  4G001BC57 ,  4G001BC61 ,  4G001BD03 ,  4G001BD13 ,  4G001BD23 ,  4G001BE32 ,  4G001BE33 ,  4G001BE34 ,  4G030AA07 ,  4G030AA12 ,  4G030AA52 ,  4G030BA12 ,  4G030BA21 ,  4G030CA04 ,  4G030CA08 ,  4G030GA20 ,  4G030GA23 ,  4G030GA24 ,  4G030GA27 ,  4G030GA28 ,  4G030GA31 ,  5F136BB04 ,  5F136FA17