特許

J-GLOBAL ID：201503015795744127

Na含有スパッタリングターゲットの包装方法

発明者： 前田 隼 ,  黒宮 康人 ,  松永 健太郎 ,  山岸 浩一 ,  森本 敏夫 ,  高橋 辰也 ,  諸星 辰也
出願人/特許権者： 本田技研工業株式会社 ,  住友金属鉱山株式会社
代理人 (3件)： 小池 晃 ,  伊賀 誠司 ,  藤井 稔也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2014-039216
公開番号（公開出願番号）：特開2015-161026
出願日： 2014年02月28日
公開日（公表日）： 2015年09月07日
要約：

【課題】ナトリウムを含有するスパッタリングターゲットと水分の接触を防止し、水分の吸湿による不具合の発生を防止したNa含有スパッタリングターゲットの包装方法及びその包装方法によって得られたNa含有スパッタリングターゲットパッケージを提供する。【解決手段】Na含有スパッタリングターゲット2を樹脂製フィルムの包装材5で包装するとともに、Na含有スパッタリングターゲット2のスパッタリング面の全面を乾燥強度1.0mgH2O/l以下の乾燥剤4で被覆する。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

Na含有スパッタリングターゲットを樹脂製フィルムの包装材で包装するとともに、該Na含有スパッタリングターゲットのスパッタリング面の全面を乾燥強度1.0mgH2O/l以下の乾燥剤で被覆することを特徴とするNa含有スパッタリングターゲットの包装方法。

IPC (2件)：

C23C 14/34 ,  B65D 81/26

FI (2件)：

C23C14/34 Z ,  B65D81/26 Q

Fターム (14件)：

3E067AB99 ,  3E067AC01 ,  3E067BA12A ,  3E067BA15A ,  3E067BA17A ,  3E067BB14A ,  3E067CA05 ,  3E067EA06 ,  3E067EE25 ,  3E067FA01 ,  3E067FC01 ,  3E067GD10 ,  4K029DC04 ,  4K029DC09