特許
J-GLOBAL ID：201503015973607937
スパッタリングターゲットとこれを使用したスパッタリング装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
特許業務法人森本国際特許事務所
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-115155
公開番号（公開出願番号）：特開2013-241646
特許番号：特許第5830663号
出願日： 2012年05月21日
公開日（公表日）： 2013年12月05日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 複数のターゲットピースを円筒型バッキングチューブの周面にボンディングしたスパッタリングターゲットであって、
前記複数のターゲットピースは、隣接するターゲットピース同士が互いに隙間を空けて前記チューブの軸心方向に配置され、前記隙間は、
前記ターゲットピースの外周面から前記チューブの軸心に向かうストレート区間と、
前記ストレート区間と前記チューブとの間において、前記ストレート区間の長さ方向に対して90°より大きい角度で傾斜するテーパー区間と、
を有し、隣接するターゲットピースの一方のターゲットピースの端面のうち、前記ストレート区間を構成する面の延長線上に、前記テーパー区間を構成する他方のターゲットピースの端面が配置されている、
スパッタリングターゲット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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