特許
J-GLOBAL ID：201503016003531267
試料冷却ホルダー及び冷却源容器
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
平木 祐輔
, 関谷 三男
, 渡辺 敏章
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-145599
公開番号（公開出願番号）：特開2014-010965
特許番号：特許第5732006号
出願日： 2012年06月28日
公開日（公表日）： 2014年01月20日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 荷電粒子により加工又は観察する試料を載置した冷却試料台を装着する冷却試料台支持台と、
冷却源から伝達された熱を前記冷却試料台支持台に伝達すると共に、前記試料の向きの変化に応じて変形する第1の熱伝導部材と、
前記冷却源の熱を前記第1の熱伝導部材に伝達する第2の熱伝導部材と、
先端部が前記冷却試料台支持台に固定されると共に、前記第1及び前記第2の熱伝導部材を内空間に可動状態で収容する第1の筒部材と、
前記第1の筒部材を回動可能に取り付けると共に、前記冷却源を収容する冷却源容器を着脱可能に装着する冷却源容器装着部と
を有する試料冷却ホルダー。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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