液浸部材、液浸露光装置、液浸露光方法、デバイス製造方法

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出願人/特許権者：
代理人 (2件)：志賀正武 , 高橋詔男
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2012-205072
公開番号（公開出願番号）：特開2012-248901
特許番号：特許第5700010号
出願日： 2012年09月18日
公開日（公表日）： 2012年12月13日
請求項（抜粋）：

【請求項1】露光光で基板を露光する液浸露光装置で用いられる液浸部材であって、前記基板の表面が対向するように配置される第1面、及び該第1面と反対側の第2面を有するプレートと、液体供給口と、前記第2面の一部と第1ギャップを介して対向する液体回収部と、前記第1ギャップに接続された第1開口部と、前記第1面と対向する可動物体と対向しない位置に配置され、前記第1開口部と異なる第2開口部と、を備え、前記第1ギャップは、前記第2開口部を介して周囲の空間に接続されており、前記液体回収部は、前記液体供給口から供給された液体を回収し、前記プレートは、前記液体回収部に対して可動である液浸部材。

IPC (2件)：