特許
J-GLOBAL ID：201503016523284130
疎油性被覆のための直接液体蒸発
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：特許公報
出願番号（国際出願番号）：特願2013-553609
特許番号：特許第5706004号
出願日： 2012年02月10日
請求項（抜粋）：
【請求項1】 物理蒸着のための蒸発ユニットであって、
生の液体材料を受け取る容器と、
前記生の液体を前記容器に挿入する開口部と、前記生の液体材料が蒸気の形態である場合に前記生の液体材料が漏れるように構成された複数の孔とを含み、前記容器に結合された蓋と、
第1の発熱体を受ける第1の端及び前記蓋の第1の側面に結合された第2の端を含み、前記蓋の前記第1の側面に結合された第1のつまみと、
第2の発熱体を受ける第3の端及び前記蓋の第2の側面に結合された第4の端を含み、前記蓋の前記第2の側面に結合された第2のつまみと、
前記開口部に結合され、液状の前記生の液体材料を前記容器に向ける供給管と、
を備えることを特徴とする蒸発ユニット。
IPC (1件)：
FI (1件)：
引用特許：
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