特許
J-GLOBAL ID:201503016642548619

樹脂封止装置及び樹脂封止方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 岡田 和秀
公報種別:特許公報
出願番号(国際出願番号):特願2012-090202
公開番号(公開出願番号):特開2013-219275
特許番号:特許第5774538号
出願日: 2012年04月11日
公開日(公表日): 2013年10月24日
請求項(抜粋):
【請求項1】 被封止体を予熱する予熱機構を備え、該予熱機構によって予熱された被封止体を、 樹脂封止用の成形型によって樹脂封止する樹脂封止装置であって、 前記予熱機構は、前記被封止体が前記樹脂封止用の成形型へ搬送される搬送経路の途中に設けられ、 前記予熱機構は、前記被封止体を加熱する加熱面をそれぞれ有する二つの加熱手段を備え、 前記両加熱手段の前記両加熱面は、互いに対向し、前記両加熱面によって、前記被封止体を両側から加熱するものであり、 前記両加熱手段のうち一方の加熱手段は、前記被封止体の一部に臨む加熱面の一部が前記被封止体の前記一部に近接する方向に突出する第1凸状加熱部を有し、 他方の加熱手段は、前記被封止体の前記一部に臨む加熱面の一部が前記被封止体の前記一部に近接する方向に突出する第2凸状加熱部と、前記被封止体の他部に臨む加熱面の他部が前記被封止体の前記他部に近接する方向に突出する第3凸状加熱部とを有し、前記第3凸状加熱部は、先端部に窪んだ凹部を有する、 ことを特徴とする樹脂封止装置。
IPC (1件):
H01L 21/56 ( 200 6.01)
FI (1件):
H01L 21/56 T
引用特許:
出願人引用 (6件)
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審査官引用 (6件)
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